Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #173224 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615
Verkauft
ID: 173224
Wafergröße: 6"
VCF LP PoCl3 Vertical Furnaces, 6" Ebara 150x40 Pumps, Delivery system.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 ist ein vertikaler Diffusionsofen, der für viele Arten von integrierten Schaltungen einschließlich epitaktischem Silizium und Verbundhalbleitern verwendet wird. Es ist auf maximale Effizienz und Flexibilität ausgelegt, um eine optimale thermische Verarbeitungsleistung zu erzielen. TEL VDF 615 wurde mit fortschrittlichen Technologien wie einem integrierten Ofen und fortschrittlichen Prozesssteuerungen entwickelt. Der Ofen bietet präzisere und wiederholbare Temperaturprofile, die zuverlässige Wärmebehandlungen bei geringerem Energieverbrauch ermöglichen. Der integrierte Sockelofen macht ein externes Heizmodul kompakter und kostengünstiger. Es macht auch Wafer-Transfer effizienter. Die fortschrittlichen Prozesskontrollen bieten eine genauere Prozesskontrolle und eine verbesserte Wiederholbarkeit, die zu höheren Erträgen führt. TOKYO ELECTRON VDF 615 verfügt auch über eine Hochleistungsheizung mit zuverlässigen Metallteilerelementen, die einen gleichmäßigeren und stabileren Heizprozess bieten. Es gibt auch einen speziellen Oxidationsmodus zur genauen Temperaturregelung für oxidierende Materialien. Darüber hinaus umfasst der Ofen eine Vielzahl weiterer Merkmale, einschließlich Warm- und Kaltwandung, Entgasung und Stickstoffatmosphäre Kontrolle für die Steuerung der Atmosphäre während Epi-Prozesse. VDF 615 enthält auch eine Suite von anspruchsvollen Accessoires, die die Benutzerfreundlichkeit verbessern. Dieses Zubehör umfasst Wafer-Polier- und Reinigungssysteme, Wafer-Belichtungs- und Demontagesysteme, Wafer-Stützsysteme sowie Zonensteuerungssysteme, um den Ertrag zu verbessern, indem eine flexiblere Temperaturregelung über die verschiedenen Schritte des Prozesses ermöglicht wird. TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 ist eine ausgezeichnete Lösung für jeden Halbleiterprozess, bei dem hohe Temperatur und gleichmäßige thermische Leistung erforderlich sind. Seine fortschrittlichen Technologien und sein vielseitiges Zubehör machen es zu einem der besten verfügbaren Diffusionsöfen. Sein kompaktes und wirtschaftliches Design bietet Flexibilität bei der Prozessoptimierung, sodass Hersteller und Integratoren die höchsten Erträge und Leistungen ihrer integrierten Schaltungen erzielen können.
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