Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #168017 zu verkaufen

TEL VFD 615S ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Forschungs- und Fertigungsanwendungen. Es handelt sich um einen luftgekühlten vertikalen, durchgehenden Bandofen mit variabler Drehzahl, oberer und unterer Wärmezone, der eine gleichmäßige Wärmezonenverteilung ermöglicht. Die oberen und unteren Wärmezonen sind unabhängig voneinander einstellbar und die katalytische Oxidationsfunktion ermöglicht eine präzise Temperaturregelung. Dies ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und präzise Steuerung anderer Prozessparameter. Das VFD615S verfügt über eine Edelstahlkammer mit einem Volumen von 5,4 Litern, zwei horizontale Dichtungsbänder zur Abdichtung der Kammer und zwei obere und untere Wärmezonenabschnitte, um eine präzise Wärmezonenregelung zu ermöglichen. Es verfügt außerdem über eine integrierte Siebdruck-Glas-Substrat-Heizzone und robuste Katalysator-Oxidationszonen, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung gewährleisten. TOKYO ELECTRON VFD 615S kommt auch mit einem programmierbaren Logik-Controller (SPS), der Flexibilität und präzise Regelung von Wachstumsparametern bietet. Es ist mit einem Datenerfassungssystem (DAS) mit einer punktuellen Kalibrierung ausgestattet, die eine präzise Steuerung der gleichmäßigen Temperaturverteilung ermöglicht. Der variable Frequenzantrieb ermöglicht eine präzise Drehzahlregelung zur Optimierung der Prozesswiederholbarkeit und Taktzeiten. Das VFD615S ist für die Prozessüberwachung ausgelegt, die es ermöglicht, den Wärmezonenbetrieb zu ermöglichen oder zu deaktivieren. Es bietet eine präzise Steuerung von Temperatur, Gasfluss, Zellwachstum und -entfernung mit zwei unabhängigen, abwechselnd arbeitenden, dual-direktionalen horizontalen Dichtbändern, die Flexibilität in Fertigungsanwendungen bieten. Das integrierte Glassubstrat-Transfersystem und das Overlay-Alignment-System (OAS) machen es perfekt für eine präzise Substratausrichtung und eine enge Kontrolle der thermischen Effekte. Darüber hinaus ist das VFD615S mit einer offenen Architektur ausgestattet, die für die Steuerung von bis zu vier Speisegasleitungen geeignet ist. Die isolierte Kammer und der ventilatorgekühlte Innenraum minimieren den Energieverbrauch, minimieren die Kohlendioxidemissionen und tragen zu niedrigeren Betriebskosten bei. Schließlich bietet es die Integration in automatisierte Produktionslinien mit seiner kompatiblen Zugangstür und fortschrittlichen Überwachungssystemen.