Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615T #178007 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615T
Verkauft
ID: 178007
Diffusion furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615T Diffusionsofen ist ein zuverlässiges, fortschrittliches Werkzeug für die Halbleitersubstratverarbeitung. Seine umfangreichen Fähigkeiten umfassen Hochtemperaturoxidation, Nitridation und thermische Verarbeitung. Der Ofen besteht aus einer Aluminiumkammer, zwei Heizzonen, zwei Kühlzonen, einer Gasplatte, zwei Gaskrümmern, einem Waferübertragungsarm und einer Vorkammer mit einer 100 mm-Probenheizpatrone und verschiedenen Zubehörteilen. Die Ofenkammer besteht aus gewelltem Metall, um eine maximale thermische Effizienz zu gewährleisten. Es verfügt über zwei unabhängig steuerbare Heizzonen und zwei Kühlzonen. Die erste Heizzone dient zur Temperaturregelung während der Verarbeitung, während die zweite Zone zur Vorwärmung von Materialien vor der Diffusionsbearbeitung verwendet wird. Beide Zonen werden von externen Controllern mit PID-Reglern sowie Präzisionstemperatursensoren betrieben. Es verfügt außerdem über ein Hochleistungs-Pomega-Brennersystem und einen Hi-Velocity Diesel Low NOx-Brenner mit geringen Strahlungsemissionen. Die Gasplatte dient der Versorgung der Kammer mit Argon, Stickstoff und Wasserstoff. Es reguliert Gasfluss, Druck, Temperatur und Zusammensetzung mit Hilfe von zwei Gaskrümmern. Es enthält auch einen Massenstromregler zur genauen Steuerung von Gasen. Der Wafer-Transferarm ist ein pneumatisch betätigter Aktionsarm, mit dem Substrate in und aus dem Ofen transportiert werden. Sie besteht aus zwei gelenkigen Armen, einem vertikalen und einem horizontalen, mit einer an der Kreuzung befestigten Waferklemme. Es wird durch ein programmierbares motorisiertes System gesteuert und ist mit einer Kühlleitung für sich schnell bewegende beheizte Substrate ausgestattet. Die Vorkammer ist mit einer 100mm-Probenheizpatrone und verschiedenem Zubehör ausgestattet. Die Probenheizpatrone, die ein Sechs-Zonen-Feuerfestheizelement verwendet, kann Proben bis zu 900 ° C erwärmen. Es verfügt auch über einen Heizungssensor, um die Temperatur der Heizung zu messen. Das Zubehör umfasst ein 26-Kanal-Pyrometer, eine Gasstromsteuereinheit, einen Druckregler, einen Vakuummesser und verschiedene Vakuumventile. TEL VDF 615T Diffusionsofen ist ein zuverlässiges, fortschrittliches Werkzeug mit zahlreichen Funktionen, die es für die Verarbeitung von Halbleitersubstraten geeignet machen. Es besteht aus hochwertigen Materialien und Komponenten, die eine präzise und stabile Temperaturregelung gewährleisten. Seine umfangreichen Fähigkeiten machen es zu einer großen Wahl für Halbleiterverarbeitungsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor