Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044 zu verkaufen

ID: 293615044
Weinlese: 2008
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler ist ein hochentwickelter Verarbeitungsreaktor, der eine effiziente und kostengünstige Produktion von integrierten Geräten (IDM) ermöglicht. Es ist ein Mehrkammersystem, das für hohen Durchsatz und Substratvolumen optimiert ist und gleichzeitig die Plasmaschäden deutlich reduziert. Der Reaktor wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Prozesstechnologien wie thermische Oxidation, Nitridabscheidung, dielektrische Abscheidung niedriger K und Photomasken-Ätzung zu unterstützen. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: der Hauptkammer, dem Lastschloß und der Transferkammer. Die Hauptkammer ist mit Hochfrequenzgeneratoren ausgestattet, die in Verbindung mit Wechselstrom-Magnetfeldern eine überlegene Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit ermöglichen. AMAT Centura Enabler ist in der Lage, unter einem breiten Druckbereich von 0,02 Torr bis 760 Torr zu arbeiten. Darüber hinaus verfügt es über mehrere Substratkühl- und Heizstufen, um thermische Glüh- und Kühlprozesse zu ermöglichen. Dies ermöglicht schnellere thermische Prozesse und maximiert die Gleichmäßigkeit der aufgebrachten Folien durch eine kontrollierte Temperatur. Das integrierte Lastschloss für APPLIED MATERIALS Centura Enabler ermöglicht die Handhabung größerer Wafer und wird durch eine Helium-Mantel-Kaltfinger-Technologie gekühlt. Dies sorgt für einen schnelleren Durchsatz und eine verbesserte Substratgleichförmigkeit. Die Umweltisolierung der Lastschleuse sorgt zudem für einen effizienten Betrieb und sorgt dafür, dass verschmutzungsfreie Substrate in Centura Enabler geladen werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler verfügt auch über eine anspruchsvolle Transferkammer. Diese Kammer hilft bei der präzisen Substrathandhabung und wird von einem dreiachsigen Roboter betrieben. Zusätzlich ist die Transferkammer von der Hauptkammer isoliert, wodurch eine überlegene Verschmutzungssteuerung und Prozesswiederholbarkeit gewährleistet ist. Insgesamt ist AMAT Centura Enabler ein leistungsstarker Reaktor, der eine hochwertige IDM-Produktion mit deutlich reduziertem Aufwand ermöglicht. Ausgestattet mit einer Reihe fortschrittlicher Technologien bietet es überlegene Leistung, Produktivität und Einheitlichkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Enabler ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das sich ideal für die IDM-Produktion eignet.
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