Gebraucht GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS L 3510 ist ein Hochleistungs-CVD-Ätzer (Chemical Vapor Deposition), der für flache Trench Isolation (STI) -Anwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine verbesserte Abscheidungsgleichförmigkeit bei Unterviertelmikron-Dimensionen und bietet sowohl hohe Ätzraten als auch geringe Defektivität. GASONICS L 3510 ist ein Einkammer-Werkzeug mit einem drehbaren Spannfutter für die Halbleiterwaferbearbeitung und verfügt über ein modernes, ultrahoches Vakuum (UHV) Kammerdesign. NOVELLUS L 3510 ist mit HF-Quellen mit variabler Frequenz, zwei unabhängigen Plasmajets, einem konfigurierbaren Multi-Probe Loading System (MPLS) und einem internen Laserinterferometer mit hoher Geschwindigkeit für die räumliche Lageregelung und genaue Feinabstimmung ausgestattet. Der hochautomatisierte Regler in L 3510 liefert eine präzise Gasdurchsatz- und Temperaturregelung und bietet umfassende Prozessdiagnosefunktionen, um eine effiziente Verarbeitung von Wafern zu gewährleisten. GASONICS/NOVELLUS L 3510 verfügt über die Fähigkeit, Prozessgase präzise an das Substrat zu liefern, und seine verbesserte Genauigkeit und Positionskontrolle ermöglichen es, bei niedrigeren Druck- und Temperaturbereichen zu arbeiten. Das Kammerdesign ermöglicht die Bearbeitung von bis zu 200 mm Wafern mit bis zu 500 Angströmschwankungen der Merkmalsgröße und 0,25 nm Gleichmäßigkeit über die gesamte Substratoberfläche für großflächige Geräte. GASONICS L 3510 bietet mehrere Funktionen, die die höchste Ätzselektivität und verbesserte Leistung bieten. Es verfügt über eine parallele rückseitige Streifenquelle, eine verbesserte untere Streifenquelle und eine verbesserte Satellitenquelle. Dies ermöglicht eine bessere Wiederholbarkeit und einen höheren Durchsatz. Ein anspruchsvoller Zykluscomputer mit grafischer Benutzeroberfläche (GUI) bietet den ultimativen Komfort und die Unterstützung für die Erstellung und Verwaltung von Rezepten. Insgesamt ist NOVELLUS L 3510 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der ein hohes Maß an Leistung und Genauigkeit bietet. Es ist in der Lage, Filme auf Substraten mit sehr hohem Durchsatz und geringer Defektivität abzuscheiden und eignet sich ideal für STI-basierte Anwendungen. Es ist ein effektiver Weg, um Genauigkeit und Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig die höchste Ausbeute und die beste Folienqualität zu erhalten.