Gebraucht LAM RESEARCH 9600CFE #9396017 zu verkaufen

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ID: 9396017
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2001
Etcher, 6"-8" (2) Chambers: Metal etch Resist removal CE Marked 2001 vintage.
LAM RESEARCH 9600CFE ist eine Ätz-/Aschermaschine, die hochpräzise Ätz- und Abbildungsfunktionen (5 µm) bietet, um die komplexesten Gerätedesigns zu ermöglichen. LAM RESEARCH 9600 CFE bietet nasse oder trockene Plasmaätzung mit seiner konfigurierbaren Gaszufuhr, die maximale Prozesskontrolle und Genauigkeit ermöglicht. 9600CFE ist voll kompatibel mit allen gängigen Vakuumsystemen und Messtechnik-Tools. 9600 CFE ist für hochauflösendes, präzises Ätzen mit niedrigen Ablenkfaktoren ausgelegt. Dieses System kann für eine Vielzahl von Prozess-Herausforderungen verwendet werden, einschließlich Tiefkontaktätzen, Flachgraben-Isolation, nanoskalige Merkmalsmusterung, Feinlinienmusterung und präzises Ätzen von 3D-Strukturen. Es verfügt über eine modulare Kammerkonfiguration, die Ein- oder Mehrkammer-Ätzanwendungen für mehr Effizienz ermöglicht. LAM RESEARCH 9600CFE kommt auch mit einem integrierten HF-Generator für Niederfeld-Plasmaentladung und bietet eine erhöhte Prozesssteuerung. Die fortschrittlichen Automatisierungs- und Steuerungssysteme von LAM RESEARCH 9600 CFE sorgen für hohe Produktivität und Genauigkeit. Es zeigt eine Mehrstation Roboteroblatenübertragungshafen für schnell die Be-und Entladung zusammen mit verlängerten Betreibersicherheitseigenschaften. Es hat auch eine integrierte Diagnose, um die Effizienz kontinuierlich zu überwachen und zu maximieren. 9600CFE bietet ein umfassendes Softwareprogramm, das eine hochoptimierte prädiktive Prozesssteuerung ermöglicht. Dieses Programm ist vollständig mit Windows kompatibel, so dass Kunden das Gerät leicht steuern und den Fortschritt überwachen können. Die benutzerfreundliche Software vereinfacht die Steuerung von Ätzparametern und bietet die Möglichkeit, Programme zu speichern, abzurufen und zu bearbeiten. 9600 CFE ist eine äußerst zuverlässige und wiederholbare aher/Ätzmaschine, die perfekt für modernste Gerätetechnikanwendungen geeignet ist. Seine geringe Stellfläche und sein ergonomisches Design machen es zu einer großartigen Passform für eine Vielzahl von Einstellungen, darunter Forschungs- und Entwicklungslabore, industrielle Fabs, Halbleitereinrichtungen und Universitäten. Mit seiner flexiblen Konfigurierbarkeit, fortschrittlichen Automatisierung und prädiktiver Prozesssteuerung ist LAM RESEARCH 9600CFE eine gute Wahl für Ätzgenauigkeit und Zuverlässigkeit.
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