Gebraucht LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942 zu verkaufen

LAM RESEARCH Exelan A6 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für Ätz- und Ascheprozesse. Es ist mit einer leistungsstarken, modularen Konstruktionsarchitektur gebaut, die einen leistungsstarken und effizienten Betrieb in anspruchsvollen Produktionsumgebungen ermöglicht. Exelan A6 verwendet präzise Ätz- und Aschetechnologie, um präziseste Substratstrukturen zu schaffen. Das System besteht aus einer großen, kostengünstigen Turbo-PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) -Einheit, die über eine Niederdruck-Hochfrequenz-Plasmakammer und einen Hochgeschwindigkeitsförderer verfügt. Diese Maschine verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-Gasverteilung, die höhere und präzise gesteuerte Prozessraten ermöglicht. LAM RESEARCH Die Plasmakammer, der HF-Generator und der Controller von Exelan A6 wurden entwickelt, um einen hocheffizienten Ätz- und Ascheprozess zu erreichen. Das Kammervolumen ist groß genug, um große Substratgrößen und lange Prozesszeiten aufzunehmen, was es zu einem idealen Werkzeug für die Großserienproduktion macht. Exelan A6 unterstützt eine fortschrittliche Automatisierung, die den Gasfluss, den Druck, die Temperatur, die HF-Leistung und andere Prozessparameter genau steuern kann. Mit der Software können Benutzer bis zu zwanzig unabhängige Prozessrezepte konfigurieren, die für die zukünftige Verarbeitung gespeichert und wiederverwendet werden können. Diese integrierten Automatisierungsfunktionen bieten die Möglichkeit, die Prozessrezepte zu verfolgen, den Prozess zu überwachen und eventuelle Probleme während der Verarbeitung zu diagnostizieren. Die integrierten Reinraum- und Isolationssysteme ermöglichen den Betrieb von LAM RESEARCH Exelan A6 in sauberen Umgebungen. Mit seinen integrierten Sicherheitsfunktionen und der fortschrittlichen Diagnose kann das Gerät bei Notfällen automatisch heruntergefahren werden und Probleme wie anormale Drücke, Übertemperatur- und Stromstörungen erkennen und melden. Exelan A6 bietet eine zuverlässige und effiziente Plattform für die Herstellung von Ätz- und Ascheprozessen, die eine Integration in andere Prozesse wie Lithographie, Prägung, Vakuumprozesse und andere damit verbundene Prozesse ermöglicht. Letztlich kann das Modell mikro- und nanogroße Substratstrukturen für eine Vielzahl von Branchen schnell und einfach verarbeiten.