Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 zu verkaufen

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ID: 9374752
Wafergröße: 5"
Oxide etcher, 5" Bulkhead system mount with tunnel covers HINE 38A Open cassette Send / Receive indexers LED Monitor ADVANCED ENERGY RF Generator Moving gap Back helium colling Belt driven load station Standard load station shuttle spatula Upper chamber gap drive encoder Aluminum upper chamber electrode Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm) Low pressure chamber manifold HPS Valve for chamber isolation AC-2 Chamber pressure controller Lower chamber RGA port MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer (8) Orbital gas boxes (1300) UPC: He (50 SCCM) Trip breakers AC / DC power box Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschemaschine, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Das System nutzt fortschrittliche Ätztechnologie, um ein präzises Ätzen einer Vielzahl von Substraten wie Siliziumscheiben, Oxidschichten und verschiedenen Dielektrika zu ermöglichen. Rainbow 4420 verfügt über einen modularen Aufbau mit mehreren konfigurierbaren Optionen. Es enthält eine hocheffiziente Nassverarbeitungskammer, einen Gasduschkopf, eine plasmaunterstützte Ätzeinheit und eine fortschrittliche Verteilungsmaschine für Strom, Gas und Kühlmittel, die alle in einer Einheit integriert sind. Die Bearbeitungskammer ist so konzipiert, dass sie eine präzise Temperatur- und Druckumgebung aufrechterhält und ein präzises Ätzen bei hoher Geschwindigkeit ermöglicht. Der Gasduschkopf verwendet hochkonzentrierte Puffer sowie Tieftemperaturplasma, um die Temperatur der Ätzgase zu halten und maximale Effizienz und Betriebssicherheit zu gewährleisten. Der plasmaunterstützte Ätzprozess bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und sorgt für ein qualitativ hochwertiges Ergebnis. LAM RESEARCH Rainbow 4420 beinhaltet auch ein fortschrittliches Laserbildwerkzeug, das die präzise Handhabung einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Damit eignet es sich ideal für Tieftemperatur-, Hochpräzisionsätz- sowie Hochstrom-Hochauflösungsprozesse. Schließlich verfügt Rainbow 4420 auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die in seine Konstruktion eingebaut sind und die vollständige Sicherheit aller Betreiber gewährleisten. Dazu gehören ein Wasserstoffsensor, eine Inertgaszufuhranlage, ein Notabschaltmodell und ein integriertes Diagnosegerät. Das Diagnosesystem überwacht Temperatur, Druck und andere Parameter und benachrichtigt den Bediener, wenn sich einer dieser Werte außerhalb des vorgegebenen Bereichs befindet. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 eine fortschrittliche Ätz- und Ascheeinheit, die präzise und qualitativ hochwertige Ergebnisse liefert. Seine Kombination aus Präzisionsätzfähigkeit, anpassbaren Verarbeitungsvariablen und leistungsstarken Sicherheitsmerkmalen machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterverarbeitung.
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