Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9374752
Wafergröße: 5"
Oxide etcher, 5"
Bulkhead system mount with tunnel covers
HINE 38A Open cassette
Send / Receive indexers
LED Monitor
ADVANCED ENERGY RF Generator
Moving gap
Back helium colling
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
Upper chamber gap drive encoder
Aluminum upper chamber electrode
Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm)
Low pressure chamber manifold
HPS Valve for chamber isolation
AC-2 Chamber pressure controller
Lower chamber RGA port
MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer
MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer
TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer
(8) Orbital gas boxes
(1300) UPC: He (50 SCCM)
Trip breakers AC / DC power box
Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschemaschine, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Das System nutzt fortschrittliche Ätztechnologie, um ein präzises Ätzen einer Vielzahl von Substraten wie Siliziumscheiben, Oxidschichten und verschiedenen Dielektrika zu ermöglichen. Rainbow 4420 verfügt über einen modularen Aufbau mit mehreren konfigurierbaren Optionen. Es enthält eine hocheffiziente Nassverarbeitungskammer, einen Gasduschkopf, eine plasmaunterstützte Ätzeinheit und eine fortschrittliche Verteilungsmaschine für Strom, Gas und Kühlmittel, die alle in einer Einheit integriert sind. Die Bearbeitungskammer ist so konzipiert, dass sie eine präzise Temperatur- und Druckumgebung aufrechterhält und ein präzises Ätzen bei hoher Geschwindigkeit ermöglicht. Der Gasduschkopf verwendet hochkonzentrierte Puffer sowie Tieftemperaturplasma, um die Temperatur der Ätzgase zu halten und maximale Effizienz und Betriebssicherheit zu gewährleisten. Der plasmaunterstützte Ätzprozess bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und sorgt für ein qualitativ hochwertiges Ergebnis. LAM RESEARCH Rainbow 4420 beinhaltet auch ein fortschrittliches Laserbildwerkzeug, das die präzise Handhabung einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Damit eignet es sich ideal für Tieftemperatur-, Hochpräzisionsätz- sowie Hochstrom-Hochauflösungsprozesse. Schließlich verfügt Rainbow 4420 auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die in seine Konstruktion eingebaut sind und die vollständige Sicherheit aller Betreiber gewährleisten. Dazu gehören ein Wasserstoffsensor, eine Inertgaszufuhranlage, ein Notabschaltmodell und ein integriertes Diagnosegerät. Das Diagnosesystem überwacht Temperatur, Druck und andere Parameter und benachrichtigt den Bediener, wenn sich einer dieser Werte außerhalb des vorgegebenen Bereichs befindet. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4420 eine fortschrittliche Ätz- und Ascheeinheit, die präzise und qualitativ hochwertige Ergebnisse liefert. Seine Kombination aus Präzisionsätzfähigkeit, anpassbaren Verarbeitungsvariablen und leistungsstarken Sicherheitsmerkmalen machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterverarbeitung.
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