Gebraucht TEGAL 903E #9374755 zu verkaufen

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Hersteller
TEGAL
Modell
903E
ID: 9374755
Wafergröße: 5"
Etchers, 5".
TEGAL 903E ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es handelt sich um einen thermischen Verdampfer (oder eine Verdampfungseinrichtung), der mit einer Elektronenstrahlpistole Resist- und Metallisierungsschichten auf die Oberfläche eines Halbleiterwafers verdampft. TEGAL 903 E kann Wafer bis 8 Zoll Durchmesser verarbeiten und hat einen maximalen Durchsatz von bis zu 60 Stück pro Stunde. Es ist mit Autofokussierungsfähigkeit, Überstromschutz und einstellbarer Tiegeltemperatur ausgestattet, um optimale und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. 903E ist als kostengünstige und zuverlässige Lösung positioniert, um der wachsenden Nachfrage nach einer integrierteren und effizienteren Verarbeitung komplexer Halbleiterbauelemente gerecht zu werden. Es verfügt über eine Reihe von Merkmalen, die es für die Halbleiterindustrie attraktiv machen, einschließlich eines hochpräzisen Bewegungssystems, einer eng gekoppelten Steuereinheit und einer hervorragenden Kapazität für eine enge Prozesssteuerung. Die Maschine ist auch für die einfache Integration in bestehende Waferbearbeitungssysteme konzipiert, indem sie eine direkte Steuerung anderer wichtiger Prozessparameter und Komponenten wie Temperatur und Druck bietet. Das Werkzeug ist darauf ausgelegt, Aluminium und Titan sowie andere Legierungen und Metalle mit einer Dicke von 1 bis 1000 Nanometern schnell und präzise verdampfen zu können. Die in 903 E verwendete Millijoule-Elektronenstrahlpistole ermöglicht eine präzise und effiziente Abscheidung. Darüber hinaus verfügt die Anlage über zwei spezielle Substratmanipulatoren für die Übertragung von Substraten und eine überlegene Kontrolle der Substratpositionen. TEGAL 903E verfügt zudem über eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen wie eine grafische Benutzeroberfläche, ein leistungsstarkes Softwarepaket, eine automatische Kalibrierung und ein Selbstdiagnosemodell. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es dem Bediener, den Ätzprozess einfach einzurichten und zu überwachen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Fernüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, um einen schnellen und optimierten Betrieb zu ermöglichen. TEGAL 903 E ist ideal für Kunden, die eine leistungsstarke Verarbeitung von Halbleitersubstraten mit enger Prozesssteuerung benötigen. Es eignet sich sowohl für Batch- als auch für kontinuierliche Produktionsprozesse und ist in der Lage, Substrate unterschiedlicher Größen und Dicken zu verarbeiten. Die hochpräzise Bewegungseinheit und die eng gekoppelte Steuerungsmaschine des Systems sorgen für ein hervorragendes Maß an Präzision und Prozesskontrolle bei minimalen Verschmutzungen. 903E ist ein zuverlässiger und kostengünstiger Ätzer/Ascher für fortschrittliche Prozesse in der Halbleiterindustrie.
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