Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV ist eine hochleistungsfähige, hochproduktive Ätzausrüstung, die für die strengsten Anforderungen in Verfahren wie semiisotropes Ätzen, anisotropes Ätzen, ultrahohes Seitenverhältnis-Teardrop-Ätzen und Kupfer (Cu) -Säulenätzen entwickelt wurde. Es handelt sich um einen Einwafer-Parallelplasmaätzer (oder „Ascher“) mit einer Reihe von Möglichkeiten, die einen verbesserten Durchsatz und erweiterte Prozessmodule ermöglichen - von Standard-Ätzaufträgen bis hin zu fortschrittlicheren Prozessen. TEL Formula-HV nutzt innovative und effiziente Prozesstechnologien, um qualitativ hochwertige, stabile und wiederholbare Ätzprofile zu erzielen. Die erweiterten Steuerungsfunktionen des Systems bieten kompliziertes, hochpräzises Ätzen, um den Anforderungen sehr großer und extrem tiefer Ätzprozesse gerecht zu werden. Die Gleichmäßigkeit der mit TOKYO ELECTRON Formula-HV erzielten Ätzung gehört zu den besten der Branche. Formula-HV ist mit mehreren HF-Quellen ausgestattet, so dass der Ätzprozess auf die spezifische Anwendung zugeschnitten werden kann. Dies ermöglicht ein Maß an Flexibilität, das ein viel breiteres Spektrum an Ätzmöglichkeiten bietet als herkömmliche Ätzsysteme. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Einstellparametern, so dass der Benutzer Plasmen, Ionen und Elektrodenleistungsquellen für die besten Ergebnisse anpassen kann. Die ausgeklügelte Automatisierung von TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV eliminiert den Eingriff des Menschen in kritische Anwendungen. Es ermöglicht berührungslose, wiederholbare und genaue Prozesssteuerung für Ätztiefen und Eigenschaftsprofile. Die Maschine verfügt außerdem über ein erweitertes Diagnose- und Wartungswerkzeug, mit dem Benutzer das Gerät schnell und einfach beheben und warten können. TEL Formula-HV verfügt zudem über eine umfassende Palette von Software-Tools zur Datenerfassung und -analyse sowie zur Rezepturentwicklung und Prozessoptimierung. Es ist kompatibel mit mehreren Ätzmasken, einschließlich Hellfeldmaske (verwendet für flache Ätzungen) und Dunkelfeldmaske (für tiefere Ätzungen). Das Asher bietet auch mehrere Schilde offert, so dass Benutzer das Modell für ihre jeweilige Anwendung anpassen können. TOKYO ELECTRON Formula-HV ist ein fortschrittlicher, leistungsfähiger und zuverlässiger Ätzer, der präzises und stabiles Ätzen für die anspruchsvollsten Anwendungen bietet. Die erweiterten Steuerungen, die breite Palette an Einstellparametern und die Flexibilität bieten Anwendern eine Vielzahl von Ätzmöglichkeiten. Seine ausgeklügelte Automatisierung und umfassende Software-Suite ermöglichen es Anwendern, ihre Prozesse schnell und einfach zu entwickeln und zu optimieren.