Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293622284 zu verkaufen

ID: 293622284
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Vertical furnace, 12" Process: NH3 DCS SiGe C2H4 HF 20% F2 with N2 TiCl3 liquid Operation panel IO Unit Exhaust box Power box Heater 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein induktiv gekoppelter Plasma-basierter (ICP) Ätzer/Ascher, der eine fortschrittliche Technologie Perforation fensterlose Ätzausrüstung verwendet, um hochpräzise, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. TEL Indy-I-L verfügt über eine leistungsstarke, aber stabile Hochfrequenz-Stromversorgung, die eine präzise Menge an Energie an die Ätzoberfläche mit überlegener Wiederholbarkeit liefert. Diese Präzisionsleistungsregelung ermöglicht das Ätzen schwer verarbeitbarer Materialien wie Niedertemperaturpolysilizium und Kobalt. Das Gerät verfügt auch über eine erweiterte atmosphärische Steuerung, die in der Lage ist, einen normalen und stabilen Druck in der Reaktionskammer aufrechtzuerhalten. Die Kammer ist sowohl mit einem Druckaufnehmer als auch mit einem Druckregler ausgestattet, der eine präzise Druckregelung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist auch mit TEL proprietären RIE SPRON-H Technologien ausgestattet, die entwickelt wurden, um die höchstmögliche Ätzrate und Prozessgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Diese proprietäre Technologie hat die Ätzrate um bis zu 40% verbessert, was kürzere Zykluszeiten und eine höhere Wiederholbarkeit ermöglicht. Der Ätzprozess auf Indy-I-L wird durch die fortschrittliche, automatisierte Rezeptmanagement-Einheit der Einheit weiter optimiert. Durch die Bereitstellung der genauen Prozesszeit und Energie pro Stufe des Ätzzyklus stellt die Maschine sicher, dass die resultierenden Produkte alle Herstellerspezifikationen erfüllen. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L auf maximale Flexibilität und Anpassungsfähigkeit an sich ändernde Produktionsanforderungen ausgelegt. Die Einheit kann sowohl für Einzel- als auch für Mehrfachlasten eingerichtet werden, und die dedizierte Hardware kann schnell und einfach gewechselt werden, um unterschiedlich große Substrate unterzubringen. TEL Indy-I-L wurde entwickelt, um Chipherstellern Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit zu bieten und ist damit ein wertvolles Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Mit seinem fortschrittlichen Design und seinem ausgeklügelten Steuerwerkzeug ist das Gerät sehr zuverlässig und in der Lage, konsistente, hochpräzise Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern.
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