Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279 zu verkaufen

ID: 293643279
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Furnace, 12" Process: LT-NIT Load lock system KAWASAKI W/T Robot 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher, der von TEL, einem japanischen Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen, entwickelt wurde. Es ist weit verbreitet für das Ätzen und Abscheiden von magnetischen und Verbundhalbleitermaterialien für eine Vielzahl von Anwendungen. TEL Indy-I-L ist mit einer Vielzahl von Funktionen zum gleichmäßigen Ätzen und Abscheiden von großen Wafern bis 300mm ausgestattet. TOKYO ELECTRON Indy-I-L verwendet innovative Technologie, um eine effiziente, stabile und gleichmäßige Verarbeitung zu ermöglichen. Es ist mit fortschrittlicher Technologie ausgestattet, einschließlich variabler Temperatur RF (Radio Frequency) Stromquelle und Laser-Interferenz-Steuerung, um gleichmäßiges Ätzen und Abscheidung zu gewährleisten, sowie optische und topographische Rückkopplung Kontrolle, um wiederholbare und stabile Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglichen seine intelligenten Controller-Funktionen eine anpassbare und automatisierte Steuerung von Ätz- und Abscheideprozessen. Indy-I-L hat eine große Kammerkapazität von 1,200L und ist für einen breiten Ätz-/Abscheidungsbereich ausgelegt. Es ist in der Lage, Temperaturen von bis zu 900 ° C mit einer 50mA/m 2 HF-Stromquelle und bis zu 2.5kV DC (Gleichstrom) Vorspannung zu verarbeiten. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L kann eine Vielzahl von Materialien ätzen und abscheiden, darunter Seltenerd- und Schwerionenintosilikate, Silizium, Titan, Aluminium und andere Metalle sowie Verbindungshalbleiter wie Galliumarsenid, Indiumphosphid und Aluminiumnitrid. TEL Indy-I-L hat zudem eine branchenführende Ätzrate von 45µ/min sowie eine leicht einstellbare Abscheiderate von bis zu 20nm/min. Darüber hinaus ist es in der Lage, hohe Produktivität mit mehreren Wafer Cluster Handhabung von bis zu 40 Wafern. TOKYO ELECTRON Indy-I-L kann für eine Vielzahl unterschiedlicher Ätz- und Abscheidungsanwendungen eingesetzt werden, von spezialisierten Halbleiteranwendungen bis zur Herstellung alltäglicher Unterhaltungselektronik. Indy-I-L ist benutzerfreundlich und für einen effizienten Betrieb ausgelegt. Seine intuitive Benutzeroberfläche und einfache Ätz-/Ablagerungssteuerungsfunktionen bieten eine einfache Einrichtung und genaue Kontrolle von Prozessen, während seine Auto-Stop-Funktion hilft, Kosten zu reduzieren und die Zuverlässigkeit des Ätz-/Ablagerungsprozesses zu verbessern. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ein leistungsstarker und vielseitiger Ätzer/Ascher, der für eine effiziente, stabile und gleichmäßige Ätzung/Abscheidung einer Vielzahl von Materialien für verschiedene Anwendungen entwickelt wurde. Es ist die perfekte Ergänzung zu jeder Halbleiterherstellungsanlage.
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