Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847 zu verkaufen

ID: 293585847
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12" Wafer production equipment Process: MLD Nitride CIM: SECS-GEM KHI Handler system (2) FOUP Factory interfaces Operation system: Gas detector box Rapid Colling System (RCS) Power box 208 VAC UPS 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher für hochvolumige Generationen fortschrittlicher lithographischer Muster. Seine präzise Strukturierung und überlegene Ätzleistung ermöglichen zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse für alle Arten von Schaltungen, die in den heutigen Halbleiterherstellungsprozessen gefunden werden. TEL Indy IRAD ist mit einer robusten Gasversorgungsausrüstung ausgestattet, die eine effiziente und genaue Lieferung von Ätzmitteln ermöglicht und eine hocheffiziente Nutzung ermöglicht. Dies gewährleistet eine zuverlässige und wiederholbare lithographische Strukturierung und erhöht die Prozessgleichförmigkeit. Das System kann so konfiguriert werden, dass es eine breite Palette von Substratmaterialien aufnimmt und Anwendern die Flexibilität bietet, verschiedene Materialien gleichzeitig zu ätzen. Diese umfassende Ätzlösung ist in der Lage, Materialien wie Silizium und Germanium sowie viele dielektrische und Metallschichten zu verarbeiten. TOKYO ELECTRON Indy IRAD verfügt auch über eine überlegene Ionenätzeinheit, basierend auf einem HF-Antriebsfeld mit einem direktionalen Anpassungsnetzwerk. Das Netzwerk ermöglicht eine verbesserte Kontrolle über die Einheitlichkeit der Ätzarten und die Kontrolle der Passivierung, während das Risiko des Wegätzens von Material an den falschen Stellen reduziert wird. Um optimale Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist Indy IRAD auch mit fortschrittlichen Diagnose- und Überwachungsfunktionen ausgestattet. Diese Tools ermöglichen es Benutzern, die Prozessbedingungen kontinuierlich und genau anzupassen, um die Ätzergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus erleichtert der automatisierte Betrieb von TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD die Bedienung und Wartung der Maschine. Dies spart Zeit für Aufgaben wie Reinigung und vorbeugende Wartung sowie die vollautomatische Serienfertigung. Damit ist TEL Indy IRAD eine ideale Wahl für Unternehmen, die nach hochpräzisen Ätzlösungen suchen.
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