Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für zuverlässige Ätz-/Ascheprozesse in Halbleiterbauelementen ausgelegt ist. Es ist eine hochmoderne Maschine, die mit den neuesten Technologien ausgestattet ist. Es ist in der Lage, Prozesse bei niedrigen Temperaturen, mit hoher Präzision und Genauigkeit und mit hohem Durchsatz durchzuführen. Die Maschine ist mit einer hochauflösenden bildgebenden Ausrüstung ausgestattet, die eine hochpräzise Bildgebung ermöglicht. Es bietet ein Echtzeit-Feedback, das eine schnelle Anpassung der Parameter ermöglicht. Es ist in der Lage, Ätz-/Ascheprozesse auf verschiedenen Materialien, wie dünnen Dielektrika, Polyimid, Siliziumdioxid und verschiedenen anderen Substraten durchzuführen. Darüber hinaus unterstützt es eine breite Palette von Ätz-/Ascheprozesschemien. TEL ME-450II verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und erfordert eine minimale Einrichtung und Wartung. Dank seiner Auto-Balance-Funktion ist es in der Lage, auch bei wechselnden Höhen und Oberflächentopografien genau und konsistent zu arbeiten. Die Auto-Balance-Funktion ermöglicht es dem Benutzer, die Ätzparameter für jeden Auftrag basierend auf dem Substrat, der Oberflächenstruktur, dem Materialtyp und der Höhe einzurichten. Die Maschine verfügt über ein integriertes, gut validiertes Process Control System (PCS), das die Genauigkeit der Ätz-/Ascheprozesse gewährleistet. Die Einheit umfasst eine Ätzgleichförmigkeitsregelungsmaschine, ein Temperaturregelungswerkzeug und eine Druckregelungseinrichtung. Das PCS ermöglicht es Benutzern, die Parameter jedes Ätz-/Ascheprozesses in Echtzeit zu überwachen und zu steuern. So können Anwender jedes Mal die optimalen Ergebnisse erzielen. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON ME-450II über eine fortschrittliche Plasmaprozessregelungstechnologie, die als TEL-MPT (Multi-Path Tuning) -Technologie bezeichnet wird. Diese Technologie kombiniert die Verwendung von zwei unabhängigen Ätzpfaden und verwendet für jeden Pfad unterschiedliche Druck-, Temperatur- und HF-Leistungsstufen. Die Multi-Path-Tuning-Technologie ermöglicht es dem Anwender, präzise Ätz-/Ascheergebnisse zu erzielen. ME-450II ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die modernste Technologien kombiniert, um höchste Präzision und Genauigkeit bei der Durchführung von Ätz-/Ascheprozessen zu ermöglichen. Es ist ein zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen auch bei wechselnden Höhen und Oberflächentopographien durchzuführen.