Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR ist ein Ätzer/Ascher für Präzisionsätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Quarz, Galliumarsenid, Galliumnitrid, Kupfer, Aluminium, Titan, Wolfram und Stahl. TEL ME-600P2/ ME-600IR verfügt über ein modernes Grob-/Feinbearbeitungsmodul, das in der Lage ist, gleichzeitig bis zu 12 Wafer auf einmal mit einer Gesamtbearbeitungsfläche von bis zu 1.310 qcm zu verarbeiten. Es ist auch mit einem unabhängig steuerbaren Quarzofen ausgestattet, der Temperaturen bis zu 1.350 ° C ermöglicht und eine hohe Prozessstabilität bietet. Die einzigartige Auto Slope Technologie ermöglicht die ständige Aktualisierung von Ätzprofilen für einheitliche Ätz-/Aschetiefe, während verbesserte Monitorwafer-Be- und Entladesysteme eine einfache Bedienung gewährleisten. Die ME-600P2 verfügt über 13 verschiedene Plasmagasquellen (Helium, Argon, Schwefelhexafluorid, Tetrafluorkohlenstoff, Fluorwasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Ammoniak, Silizium, Silsesquioxan, Wasserstoff-Boran, Chlor und Bortrifluorid), die eine breite Palette von Ätzetten ermöglichen. Dieser Ätzer/Ascher lässt sich auch einfach in Automatisierungssysteme integrieren und eignet sich somit ideal für komplexe Serienproduktionen. Darüber hinaus verfügt das ME-600IR über eine zusätzliche Reihe von IR-Lampen, die für Asche-/Trocknungsprozesse verwendet werden können. TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR ist eine hervorragende Lösung für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen in Präzisionsindustrien wie der Mikroelektronik und der Halbleiterherstellung. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und seiner hervorragenden Prozessstabilität ist es die ideale Wahl, um bei minimaler Bearbeitungszeit hochwertige Ergebnisse zu erzielen.