Gebraucht ABM 350W #9227481 zu verkaufen

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ABM 350W
Verkauft
Hersteller
ABM
Modell
350W
ID: 9227481
System.
ABM 350W ist ein Masken-Aligner für photolithographische Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist ein modulares Gerät, das eine automatisierte Ausrichtung, Belichtung und Entwicklung einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Im Aligner-Basismodul ist ein Halbleiterwafer angeordnet; das Aligner Reader Modul wird dann verwendet, um die Fotomasken-Ausrichtung und Bildposition von der Scankamera zu erfassen. Ein nachfolgender Ausrichtungsalgorithmus wird verwendet, um die Position des Substrats an die Position der Maske anzupassen. Die optische Ausstattung von 350W besteht aus einer Digitalkamera, einer Hochhelligkeitslampe und einem 8X-Transmissionsprojektor. Der dynamische Ausrichtvorgang wird durch ein geschlossenes System geleitet, das sich schnell anpasst, um Fehlstellungen auszugleichen. Die Digitalkamera ist hochgenau und kann mikrogroße Funktionen auflösen. Das Belichtungsmodul von ABM 350W ist mit einer 400W Xenonlampe zur Belichtung der Photomaske auf das Substrat ausgestattet. Durch Steuerung der Intensität und Belichtungszeit der Lampe kann die Belichtung genau eingestellt werden. Schließlich soll das Entwicklungsmodul von 350W die belichtete Fläche des Substrats entwickeln und einen kontrollierten Prozess zur Entfernung des verbleibenden Photolacks bereitstellen. Es ermöglicht optimale Entwicklungsbedingungen für Merkmale wie erhöhte Kontakte, Vias und gemusterte Wafer mit unterschiedlichen Höhen und Breiten. ABM 350W ermöglicht hochgenaue, automatisierte Photolithographieverfahren sowohl für Mikroelektronik als auch für Optoelektronik-Anwendungen. Sein modularer Aufbau ermöglicht Flexibilität und Skalierbarkeit und bietet eine hochauflösende, verzerrungsarme Bildgebungseinheit für präzise Ausrichtungs- und Overlay-Messungen. Darüber hinaus ermöglicht seine geschlossene Maschine eine kontinuierliche Prozessoptimierung, was zu verbesserten Erstpassausbeuten und Wiederholbarkeit führt.
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