Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 500A #9230836 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 500A ist ein Multifunktionsgerät mit beeindruckenden Fähigkeiten. Es bietet eine starke Grundlage für die Herstellung einer Vielzahl von Geräten und Bauelementen wie Halbleiter, Displays und Nanobauelemente. Diese Anlage umfasst vier Kernkomponenten wie einen Lithographie-Prozesskopf, einen Substrat-Handler, eine Abscheideeinrichtung und ein Gasversorgungssystem. Der Lithographie-Prozesskopf ist eine Präzisionsbewegungseinheit, die die Bewegung von Stufen und Optik ermöglicht, so dass Benutzer Geräte mit genauen Merkmalsmaßen herstellen können. Diese Maschine besteht aus einer Schiene und einer Raumklemme auf jeder linearen Achse, die Bewegungen mit extrem geringem Bewegungsgeräusch ermöglicht. Die Struktur hilft, Positionierungsfehler und Drift während des Prozesses zu minimieren. Der Substrat-Handler ist entworfen, um Partikelverunreinigungen zu reduzieren und eine zuverlässige Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen, indem eine saubere Substratumgebung und Temperaturgleichförmigkeit bereitgestellt wird. Diese Komponenten unterstützen auch mehrere Substratträger, um eine breite Palette von Gerätegrößen von kleinen Substraten bis zu großen Substraten bis zu 200 mm abzudecken. Mit dem Abscheidewerkzeug werden dünne Materialschichten auf Substraten mit präziser Maßsteuerung abgeschieden. Es unterstützt gewünschte Temperatur- und Druckeinstellungen für die Abscheidung von Legierungen und Verbundwerkstoffen. Die enorme Kapazität der Anlage ermöglicht die gleichzeitige Einführung mehrerer Gasquellen, einschließlich flüchtiger Gase, was eine unabhängige Abscheidung von Materialien auf mehreren Substraten ermöglicht. Schließlich bietet das Gasversorgungsmodell eine perfekte Kompatibilität mit der Abscheideausrüstung, die eine sichere und zuverlässige Versorgung mit chemischem Gas während der Fertigungsprozesse bietet. Sie weist einen Vorratsbehälter, einen Gasmischer, einen Nadelventilblock und einen Massenstromregler auf, die alle zusammenarbeiten, um eine zuverlässige, stabile und schnelle Gasversorgung für das Abscheidesystem zu gewährleisten. FSI 500A verfügt zusammenfassend über eine optimierte Struktur und Komponenten für präzise Prozesse, optimale Leistung und ein hohes Maß an Sicherheit und Effizienz. Die vier vorstehend beschriebenen Kernkomponenten sind zusammen mit ihrer Integration in den Herstellungsprozess wesentlicher Bestandteil des Herstellungsprozesses.