Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #293615032 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 293615032
Wafergröße: 8"
Ion implanter, 8" Source module: Gas box: Gas line-1: HP(Ar), Tylan Gas line-2: HP (BF3) Gas line-3: MKS, SDS, PH3 Gas line-4: MKS, SDS, ASH3 Isolation transformer: Oil type Injector module: Source type: ELS / Non-vaporizer Extraction electrode type: 3-Axis electrode BOC EDWARDS STP-2000C EBARA 40X20 Dry pump Facilities module: Machine transformer: Dry type Triple loops chiller AFFINITY CWA-300L-VHE-3LP, P/N:10185 AFFINITY RWA-012T-BE03CB Disk chiller (2) CTI Cryogenic 9600 compressors Linac module: Injector faraday (2) LEYBOLD Turbovac 1000C Turbo pumps EBARA 40X20 Dry pump (4) RFG-3000 (6) RFG-3001 FEM Module: FEM Power: EMS:03-165-2-D, P/N:00473110 EMS: 03-165-2-D, P/N:00473110 FEM Guss: P/N:1182890 Endstation Module: 307 Type controller Ion gauge type: Tube glass 4-Axis In-Air controller 4-Axis Robot controller (Macobot controller) 4-Axis Y-Scan controller 4-Axis Cyro controller Universal dose controller Disk module: CTI-CRYOGENIC OB-8 CTI-CRYOGENIC OB-10 CTI-CRYOGENIC OB-250F EBARA 40X20 Dry pump Flag faraday In-Vac arm Wafer holder Gyro Linear drive Disk faraday Resolver faraday Disk model: Si coating Rotary motor type: Belt drive Vacuum cassette elevator type: GRTV Notch finder Dummy cassette Load buffer E/S Elec rack / Quad console module: Quad rack module Quadruple power supply (5) Quadruple power supplies E/S Elec rack module:1178580 Cell controller model: 133, P/N:1191297 Ground DI DI Power conditioner Gyro controller Loadlock controller DEXON / PN:19077660 / Flow hood.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor für Ionenstrahlimplantationsanwendungen. Das Gerät ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen konzipiert und kann hochwertige Ionen mit ultragenauen und zuverlässigen Ergebnissen implantieren. Das System nutzt eine Hochspannungs-Ionenquelle mit hoher Energie und eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, um kleine, genau definierte Ionendosen genau und zuverlässig zu implantieren. Die Ionenquelle der GSD-HE-Einheit ist eine hochzuverlässige Hochspannungs-Ionenquelle mit dreiachsiger Magnetkonfiguration. Diese Ionenquelle ist in der Lage, Puls-Ionenstrahlen von bis zu 2,1 MeV und einen kontinuierlichen Strahl von bis zu 2,3 MeV zu erzeugen und ist in der Lage, die höchste Qualität der Ionenimplantation zur Verfügung zu stellen. Die Ionenquelle ist hochgradig konfigurierbar und kann durch Benutzereingaben verschiedene Niveaus der Implantationstiefe, des Winkels und der Energie erreichen. Der GSD-HE nutzt auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, um genaue und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einem umfassenden Überwachungswerkzeug für den Ionenstrahl ausgestattet, das eine Echtzeitüberwachung aller kritischen Parameter wie Strahlintensität, Strahlform, Energieniveau und Anzahl der implantierten Ionen ermöglicht. Dadurch erhält der Anwender die genauesten und zuverlässigsten Ergebnisse. Die Anlage verfügt auch über eine Vielzahl von Alarmen und Sicherheitssystemen, um das Modell sicher am Laufen zu halten, sowie über eine automatisierte Schaltfunktion, die ein automatisches Umschalten zwischen Implantations- und Überwachungseinstellungen ermöglicht. Zusätzlich zu all diesen Funktionen bietet die GSD-HE-Ausrüstung eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, um die Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit jedes Implantationsprozesses zu erhöhen. Dazu gehört ein adaptives Abtastsystem, das eine schnellere, effizientere Implantation ermöglicht, sowie die Fähigkeit, die Einheit zu programmieren, um mehrere Implantate in einem einzigen Zyklus durchzuführen. Das GSD-HE verfügt auch über eine Reihe von Hochleistungs-Kontroll- und Diagnosewerkzeugen, um zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten, wie ein FAT-Probenahmewerkzeug, das zukünftige Scans probt, um die Genauigkeit der Implantation zu überprüfen, und einen integrierten Kalibriermodus, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Implantationen zu gewährleisten. Die GSD-HE ist eine zuverlässige Hochleistungsmaschine, die dem Anwender eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen zur Optimierung seines Implantationsprozesses bietet. Seine Vielzahl von Überwachungs- und Steuerungssystemen machen es zu einer idealen Wahl für erfahrene und unerfahrene Anwender. In Kombination mit seinen hochmodernen Komponenten ist der GSD-HE die perfekte Wahl für hochwertige, zuverlässige Implantationsergebnisse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor