Gebraucht VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9124214
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
Ion beam etcher, 6"-8"
Process modules transport module systems include:
BROOKS Automation robot wafer handler system
Loadlock A & B
Electronics cabinet contains:
(2) APC 450 UPS
Raritan compu-switch
Industrial PC
(2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers
LEYBOLD NT20 Turbovac controller
(2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies
SORENSEN DCS20-150 Power supply
SPELLMAN SL300 Power supply
SPELLMAN SL1200 Power supply
Process modules include:
LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller
CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module
CTI 9600 Compresser
RFPP AM-10/20 Auto matching network
ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply
CTI Onboard controller RF matching network monitor
ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator
Main power distribution panel: 208V,100A
1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBE ist eine Ionenfräsanlage, die für die Vorbereitung und Charakterisierung von Oberflächen aus fortschrittlichen Materialien ausgelegt ist. Es eignet sich für den Einsatz in der Messtechnik, Fehleranalyse und Planarisierung von Dünnschichten sowie für viele andere Anwendungen. Das System nutzt einen fokussierten Strahl von energetischen Ionen, um die Oberfläche des Materials wegzufräsen. Es können Nutzlasten von bis zu 350mm aufgenommen werden, so dass Proben unterschiedlichster Größen und Formen gefräst werden können. Das Gerät verfügt über eine automatisierte Steuerungsmaschine, die es dem Anwender ermöglicht, die gewünschten Parameter für den Fräsvorgang zu definieren. Eine computergesteuerte Schnittstelle ermöglicht eine einfache Handhabung des Ionenstrahls in zwei Bewegungsebenen. Außerdem können komplexe gefräste KEs auf der Oberfläche der Probe erzeugt werden. Das Werkzeug ist mit einem hochauflösenden digitalen Bild/Video-Asset zur Erfassung von Bildern/Videos der gefrästen Oberfläche ausgestattet. Das Modell verfügt über erweiterte Sicherheitsmerkmale, wie eine Verriegelungseinrichtung, die verhindert, dass das System beim Öffnen der Kammer funktioniert. Es enthält auch einen Not-Aus-Knopf. Das Gerät entspricht den Industriestandards für Umweltsicherheit und Energieeffizienz. Die Gasfördermaschine ist so konzipiert, dass sie eine präzise Steuerung des Gasflusses und der Partikelproduktion ermöglicht und minimale Abfälle gewährleistet. Zusätzlich nutzt das Tool eine fortschrittliche Wasserkühlung, die den Stromverbrauch minimiert und den Geräuschpegel reduziert. Das Modell integriert auch eine vollautomatische Plasmareinigungsanlage. Dies ermöglicht die Entfernung von Oberflächenverunreinigungen vor dem Fräsen. Es ist auch in der Lage, die Kammerwände chemisch zu reinigen, um die Qualität der Oberfläche der zu mahlenden Probe zu gewährleisten. Insgesamt ist VEECO RF350 C2 IBE so konzipiert, dass es ein effizientes und genaues Oberflächenvorbereitungs- und Charakterisierungssystem bietet und gleichzeitig maximale Sicherheit bietet und die Umwelt schützt. Das Gerät ist eine ideale Lösung für verschiedene Anwendungen in der Messtechnik, Fehleranalyse und Dünnschichtplanarisierung.
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