Gebraucht BROOKS AUTOMATION BL-200 #9079943 zu verkaufen

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ID: 9079943
Wafer inspection system.
BROOKS AUTOMATION BL-200 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage der nächsten Generation, die Ein- und Mehrstempelinspektionsmöglichkeiten bietet. Dieses automatisierte Inspektionssystem ist ideal für die Ersteinrichtung, Konstruktionsprüfung und Prozessreferenzkontrollen sowohl für die Masken- als auch für die Waferstufen von Halbleiterherstellungsvorgängen. Das Gerät verfügt über ein hochempfindliches 2D-Inspektionsprinzip, das mit mehrzeiligen Lasersensoren selbst kleinste Partikel oder Defekte erkennt. Diese Laser sind sowohl auf der Vorder- als auch auf der Rückseite des Geräts montiert, um eine Abdeckung von oben nach unten zu gewährleisten. Eine zusätzliche LED-Lichtquelle kann der Maschine hinzugefügt werden, um die Erkennung nicht-optischer Fehler, wie Kratzer und andere ermüdete Funktionen, zu verbessern. Das Tool ist auch mit einer breiten Palette von Funktionen ausgestattet, um die Einrichtung und Bedienung von Anlagen zu erleichtern, einschließlich einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Oberfläche, einer automatisierten Modellkalibrierungsfunktion und einer Fernbedienung über eine webbasierte GUI. Diese Benutzeroberfläche ermöglicht den einfachen Zugriff auf wichtige Ausstattungsinformationen wie Inspektionsergebnisse, Eingaben und Einstellungen. BL-200 System kann in jeder Ausrichtung und auf jeder Oberfläche montiert werden. Eine Reihe kompatibler Vakuum- und Port-Formate sorgt für eine perfekte Passform und ermöglicht den schnellen Transport zwischen verschiedenen Prüfstationen. Die Maschine wird von einer leistungsstarken Bildverarbeitungsmaschine angetrieben, die es ermöglicht, mehrere Werkzeuge in einem einzigen Scan genau und schnell zu überprüfen. Es kann eine Reihe von Defekten identifizieren, einschließlich Oberflächenverunreinigungen, Grate und Kratzer. Es kann auch Stiftfehler und Kantenaberrationen sowie elektronische Defekte, wie kurze Hosen und Öffnungen, erkennen. Neben seinen Kerninspektionsmöglichkeiten bietet BROOKS AUTOMATION BL-200 Tool auch eine fortschrittliche Fehleranalyse, die es ermöglicht, komplexe Fehler zu ermitteln und zu klassifizieren; ein integriertes optisches Streuanalysemodul, das isolierte oder gruppierte Defekte an einer bestimmten Matrize schnell identifiziert; und ein Muster-Übereinstimmungs-KE, das bekannte Muster oder Linien erkennt und misst. Mit seiner Kombination aus fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung ist BL-200 Masken- und Wafer-Inspektion perfekt für die Bedürfnisse der heutigen Halbleiterhersteller geeignet. Es bietet maximale Geschwindigkeit, optimale Genauigkeit und konstante Leistung, um höchste Produktqualität zu gewährleisten.
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