Gebraucht KLA / TENCOR 2135 #9004617 zu verkaufen

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KLA / TENCOR 2135
Verkauft
ID: 9004617
Wafer inspection systems.
KLA/TENCOR 2135 ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage zur Identifizierung, Analyse und Korrektur von Defekten in gemusterten Masken und Wafern. Das System verfügt über eine automatisierte Einheit für Fehlermanagement und Prozessoptimierung, die höchste Fertigungsdurchsätze und Prozessstabilität ermöglicht. Die Maschine KLA 2135 ist mit hochauflösenden, fortschrittlichen Bildgebungswerkzeugen ausgestattet, wie einer 2k-Megapixel-Bildaufnahmekamera, die Bilder der Muster auf den Masken und Wafern aufnimmt. Es ist in der Lage, bis zu 200 Masken und 200 Wafer gleichzeitig mit hochempfindlicher Auflösung und Überprüfungsfunktionen zu überprüfen. Seine leistungsstarke Software ermöglicht es ihm, Fehler und andere Anomalien mit einer unübertroffenen Genauigkeit schnell zu erkennen, zu analysieren und zu berichten. Das Tool kann kleine Fehler wie Einzelbrüche und kurze Hosen sowie größere Funktionen wie aufdringliche Objekte, Partikel, Kratzer und Musterfehlstellungen erkennen und isolieren. Es bietet auch eine Vielzahl von spezialisierten Funktionen für Masken- und Wafer-Inspektion, wie die Fähigkeit, an eine CMP (Chemical Mechanical Polishing) Maschine für In-situ-Messung und Überwachung des Planarisierungsprozesses anschließen. TENCOR 2135 Asset bietet auch eine Reihe von Inspektions-, DRC/LRC und Charakterisierungsfunktionen, die eine größere Einsicht in den gesamten Prozess bieten. Diese Merkmale können verwendet werden, um Anomalien in einem Muster zu erkennen, bevor sie sich auf eine Photomaske oder einen Wafer begeben und so die Gesamtqualität des Produkts gewährleisten. Das Modell ist auch in der Lage, mehrere Photomasken und Wafer zu vergleichen, um Unterschiede im Maskenschema zu erkennen und gleichzeitig einen Pass/Fail-Bericht zu erzeugen. 2135 ist die ideale Lösung für Hersteller, die leistungsstarke Masken- und Waferinspektionssysteme implementieren möchten, die ein automatisiertes Fehlermanagement und Prozessoptimierung bieten. Seine leistungsstarke Software und fortschrittliche Bildgebungstechnologien bieten höchste Genauigkeit und Durchsatz, wodurch Hersteller höhere Effizienz und Kosteneinsparungen bei ihren Produktionsprozessen erzielen können.
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