Gebraucht KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276005 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9276005
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort load port, P/N: 9700-9129-01 Rev K
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Handler
Pneumatic box
Z-Stage
Optic
Computer
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Keyboard
Mouse
Missing parts:
I/O Interface board
Floatation controller
Motion controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT ist eine hochwertige Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um eine verbesserte Leistung der On-Chip-Fehlerinspektion zu gewährleisten. Die KLA ARCHER10XT wurde entwickelt, um höhere Durchsatzraten und eine verbesserte Empfindlichkeit für die Fehlerinspektion bereitzustellen. TENCOR ARCHER 10XT verwendet einen Feldeffekttransistor-Scanner (FETS), um Empfindlichkeit gegenüber nanometergroßen Defekten zu ermöglichen, und erhält digitale Bilder mit Submikronauflösung. Es ist mit einem Hochgeschwindigkeits-Scanner und bildgebenden Technologie-Modulen ausgestattet, die eine kontinuierliche Abbildung von Wafern bei gleichzeitiger Erhöhung der Durchsatzraten von bis zu 20 Wafern pro Stunde ermöglichen. KLA Archer 10 XT bietet fortschrittliche Maskenmustererkennungsfunktionen, die eine automatisierte Mustererkennung von Halbleiterscheiben ermöglichen. Fortschrittliche Ausrichtungstechnologie sorgt für eine präzise Ausrichtung von Maskenmustern und Waferbildern zur genauen Erkennung von Fehlern. Das System nutzt ein Hochleistungs-CCD-Array und eine erweiterte Optik, um die Bilderfassung zu verbessern und die Fehlererkennungsgenauigkeit zu verbessern. Das Gerät verfügt außerdem über eine ausgeklügelte Bildverarbeitungsmaschine, die auf der Grundlage vordefinierter Kriterien Fehler erkennen und klassifizieren soll. Diese Fähigkeit ermöglicht eine verbesserte Fehlererkennung und -klassifizierung nach Branchenrichtlinien. Fortgeschrittene Signalverarbeitungstechniken werden verwendet, um Fehlertypen zu charakterisieren und geeignete Reaktionen für die Aktion zu bestimmen. TENCOR ARCHER10XT bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche und ist voll kompatibel mit computergestützten Tools wie fab-Steuerungssoftware. Darüber hinaus kann das Tool mit Eltern- und Up-Stream-Systemen integriert werden, um eine nahtlose, automatisierte Datenerfassung und -analyse zu ermöglichen. Das Asset ermöglicht auch die zentrale Verwaltung von Inspektionsaufträgen und Datenprotokollierung für erweiterte Berichts- und Datenverwaltungsfunktionen. ARCHER 10XT bietet überlegene Auflösung, schnelleren Durchsatz und höhere Empfindlichkeit gegenüber herkömmlichen Inspektionssystemen. Dieses Modell ist eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die eine leistungsstarke und genaue Fehlererkennung benötigen.
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