Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #64588 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 64588
Overlay inspection system with MPX option
MPX - Focus Exposure Monitoring
Software Version : 3.10.06SP6
Software Options :
Archer Analyzer
SECS/GEM/HSMS
Klass Client
RDM Client
Objective FOV : 50um
No Klass Station
Configured for 8" Wafers
Two Cassette Platens
Brooks Dual Arm robot
Brooks Prealigner
Flat Display Monitor for User Interface
Keyboard and Mouse for User Interface
Push and Lock EMO
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM ist eine automatisierte und intuitive Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine schnelle, zuverlässige und leistungsstarke Maskeninspektion ermöglicht. Das System wurde entwickelt, um ein schnelles und effizientes Werkzeug zu sein, das in der Lage ist, Fehler zu finden und zu beheben, bevor sie kritisch und teuer werden. Es wurde entwickelt, um verbesserte Leistung bei höheren Auflösungen und mit weniger Defekten zu liefern. Das Gerät ist in der Lage, Fehler in der Photomaske sowie lithographische (Wafer-) Defekte zu erkennen und zu korrigieren. Es ist so konzipiert, dass es benutzerfreundlich ist und es Nicht-Experten ermöglicht, automatisierte Routineaufgaben schnell und einfach durchzuführen sowie Fehler schnell zu erkennen und zu beheben, wenn sie gefunden werden. Die Maschine ist mit einer breiten Palette automatisierter Maskeninspektionsmöglichkeiten wie Fehlerbildgebung, Signaturanalyse, Klassifizierung und Quantifizierung, Fehlerklassifizierungsanalyse und Mustererkennung ausgestattet. Es beinhaltet auch die neueste Schlitzabtastung Bildgebung und Ausrichtung, in der Lage, Fehler sowohl auf Photomaske und lithographische Ebenen zu erfassen. Das Tool wurde entwickelt, um sowohl positive als auch negative Photomasken-Layouts zu überprüfen und ist in der Lage, Fehler auf einer Auflösungsskala von 1x nm bis 5xnm zu finden und zu korrigieren. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Defekten zu erkennen, von Partikeln, undurchsichtigem Fremdmaterial und Staub bis hin zu Nadellöchern, Musterdefekten und Fehlstellungen. Der Vermögenswert ist in der Lage, beide Mediumfehler zu erkennen und zu beheben, d.h. diejenigen, die im Feld sichtbar sind oder festgestellt wurden und große Fehler, die im ansonsten unsichtbaren Bereich von Musterfehlern liegen. Das Modell ist auch mit einer Reihe von flexiblen Bildgebungswerkzeugen ausgestattet, so dass jede Maskenebene in der höchsten Auflösung angezeigt werden kann. Das Werkzeug hat auch die Fähigkeit, den Fokus zwischen dicht gepackten und beabstandeten Bereichen nach Wunsch zu verschieben und zu zoomen, um dem Benutzer einen genaueren Blick auf den betroffenen Bereich zu gewähren. Die Geräte bieten auch integrierte Fehlermanagement- und Protokollierungsfunktionen, mit denen der Benutzer schnell und einfach Korrekturmaßnahmen und Daten zu automatisierten Inspektionsergebnissen überprüfen kann. Das System ist auch in der Lage, schnelle Updates zu neuen Fehlerinformationen im Feld bereitzustellen und Berichte für weitere Analysen zu erstellen. Schließlich wurde das Gerät entwickelt, um die kostengünstigste Lösung zur Erkennung und Behebung von Defekten mit einer umfassenden Palette von Dienstleistungen wie Schulungen, Softwareupdates und Systemwartungen bereitzustellen. Die Maschine ist zudem hochskalierbar und kann bei Bedarf problemlos aufgerüstet werden.
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