Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #9097080 zu verkaufen

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ID: 9097080
Overlay inspection system Currently installed in cleanroom.
KLA/TENCOR Archer AIM ist eine innovative Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine fortschrittliche Fehlererkennung, Partikelcharakterisierung und Präzisionswafer-Bildanalyse ermöglicht. Mit einer hochauflösenden Kamera, gekoppelt mit fortschrittlicher Bildverarbeitungssoftware, erzeugt KLA Archer AIM eine vollständige 3-dimensionale Darstellung der Oberfläche einer Photomaske und/oder eines Wafers, die eine präzise Fehlererkennung, eine genaue Bildanalyse und eine präzise Partikelcharakterisierung ermöglicht. TENCOR Archer AIM ermöglicht präzise Editier- und Defektmappingfunktionen sowie die Bereitstellung einer umfassenden Waferkarte. Diese Karte wird von Benutzern verwendet, um die Platzierung, Form und Größe von Fehlern und Partikeln auf der Waferoberfläche zu verfolgen und zu analysieren. Durch die genaue Messung und Verfolgung von Fehlergeometrien ist Archer AIM ein leistungsstarkes Werkzeug, um die Fehlertoleranz von Advanced-Node-Geräten zu verbessern, die Defektivität zu reduzieren und die Produktausbeuten zu erhöhen. Einzigartig, KLA/TENCOR Archer AIM Strahlprofilierungssystem verwendet auch eine fortschrittliche Strahl-Shift-Technik und speziell entwickelte Optik zur Messung der Strahlgröße, des Zeigens und des Astigmatismus auf der Maske und/oder dem Wafer. Dies geschieht durch die Anzeige einer Reihe von verschiedenen Flecken, bekannt als „Spot Populationen“, die alle verschiedenen Arten von Defekten darstellen, die vorhanden sein können. Mit dieser Strahlprofilierungsfunktion kann KLA Archer AIM Probleme mit der Overlay-Genauigkeit sowie Probleme mit Diffusion und Lithographie genau und schnell diagnostizieren. TENCOR Archer AIM verfügt außerdem über eine Partikelmesstechnik-Einheit, die mit einer schnell abtastenden Kamera, gekoppelt mit einer Vielzahl von Bildsensoren, schnell und präzise die Größe und Form von Partikeln auf der Masken- und/oder Waferoberfläche bestimmt. Durch die Kombination mehrerer Inspektionen verschiedener Arten von Defekten in einem Schritt, hilft es, Inspektionszykluszeit und Gesamtbetriebskosten zu reduzieren. Archer AIM ist mit einer integrierten Datenvisualisierungsmaschine ausgestattet, mit der Benutzer Fehlerleistung und Kontrolltrends überprüfen und bewerten sowie Prozessdrift analysieren können, um die Ertragsverbesserung zu fördern. Das Tool soll Geräteherstellern helfen, ihre Ziele der Schwindung zu erreichen, die Geräteleistung zu steigern und neue Prozessknoten zu ermöglichen. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR Archer AIM eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektion, die eine präzise und detaillierte Fehlererkennung, Partikelcharakterisierung und präzise Wafer-Level-Bildanalyse ermöglicht. Durch die Möglichkeit der Bearbeitungs- und Fehlerabbildung, der Strahlprofilierung und der Partikelmesstechnik ist KLA Archer AIM ein leistungsstarkes Werkzeug zur Verbesserung der Geräteherstellung und somit ein unschätzbares Werkzeug für Gerätehersteller.
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