Gebraucht KLA / TENCOR Terascan SL 536 #9363034 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9363034
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Reticle inspection system, 12"
(2) UICs
Power box
Non functional parts:
Laser
FRED
Assembly
FRU
Robot
RLS2
5XX
SBC
Programmed XES
Datapath / PKT-XR
KIT
Laser PSU Flow meter
Power supply
Air solenoid
24 V
3-Port
SMC
W/LG FLW
Subplot
Ethernet 8-ports switch
2007 vintage.
KLA/TENCOR Terascan SL 536 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die für eine Reihe von Anwendungen in der Halbleiterherstellungsindustrie optimiert ist. Die patentierten Array-Bildsensoren und die fortschrittliche Optik wurden entwickelt, um die kleinsten Fehlerquellen auf einer Vielzahl von Masken- und Wafersubstraten zu erkennen und zu analysieren, darunter Silizium-Wafer, Dünnfilm-Solarzellen, Photomasken und Retikel. Der Hochgeschwindigkeits-Hochauflösungs-KLA Terascan SL 536 bietet unübertroffene Genauigkeit und Zuverlässigkeit und erkennt selbst die komplexesten Fehlerstandorte. Das System ist in der Lage, bis zu 512 μ m über den gesamten Wafer gleichzeitig mit hochpräzisen Interferometrie-, CCD- und CMOS-Technologien zu messen. Seine patentierte 1.5X Bildvergrößerung und fortschrittliche Beleuchtungseinheit sorgt dafür, dass TENCOR Terascan SL 536 eine verteilte Beleuchtung für den höchsten SNR und die detaillierteste Bildgebung bietet. Terascan SL 536 verfügt zudem über automatisierte rauhe Ausricht- und Abtaststationen für die effiziente Handhabung verschiedener Wafertypen und -formen. Seine Positionierungs- und Ausrichtungsdaten auf Waferebene ermöglichen es ihm, die Waferoberfläche fehlerfrei abzubilden, um den genauen Ort der erkannten Fehler zu bestimmen. Es ist mit einer erweiterten Mustererkennungsfunktion ausgestattet, die bekannte Masken zur vollautomatischen Fehlererkennung automatisch erkennt. Seine fortgeschrittene Software und Hardwarewerkzeuge verwenden Hochleistungsdaten, die Algorithmen zu schnell bearbeiten, und entdecken genau verschiedene Arten von Defekten wie Verlagerungen, Kräuselungszeichen, Gruben, helle Punkte und Leere. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche von KLA/TENCOR Terascan SL 536 vereinfacht den Bedienungsprozess, so dass Anwender schnell die gewünschten Informationen erfassen können. Eine ergonomische, hochauflösende Touchscreen-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Benutzerinteraktion und die Maschine ermöglicht einen sicheren Datentransfer für den schnellen Austausch von Informationen zwischen Anlagen und Einrichtungen. KLA Terascan SL 536 ist hocheffizient und analysiert Masken und Wafer innerhalb von Minuten. Es bietet die beste Bildqualität, die Produktivitätssteigerung, erhöhte Fehlererkennung und verbesserte Erträge für die Massenproduktion gewährleistet.
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