Gebraucht VARIAN / VEECO GEN II #9232274 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9232274
MBE Growth system
Combination of IV: Si / Ge / Sn
Ports, 2.75"
Chamber 1 (III-V):
Arsenic valved cracker
Indium effusion cell
Gallium effusion cell
Aluminum effusion cell
Ga downward looking source
Silicon effusion cell (5 cc)
Beryllium effusion cell (5 cc)
Chamber 2 (Group IV):
Germanium effusion cell
Silicon e-beam source
Silicon high temperature source
Tin effusion cell
Arsenic valved cracker
Boron dopant source.
VEECO Generation II Molecular Beam Epitaxy (MBE) Ausrüstung ist ein hoch fortgeschrittenes und zuverlässiges Wachstumssystem in Forschung, Entwicklung und Produktion Anwendungen in einer Reihe von Branchen verwendet. Es ist in der Lage, epitaktische Filme auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Hochtemperatur-Supraleiter, Halbleitermaterialien, dünne Filme und verschiedene Festkörpermaterialien bei hohen Temperaturen. Das Gerät besteht aus einem Bedienpult, einer Vakuumkammer, einer ultrahochreinen Gasfördermaschine, einem Kristallhalter und Überwachungssystemen, die unter Mikroprozessorsteuerung arbeiten. Das Werkzeug ist in der Lage, dünne Filme über einen großen Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 1000 ° C abzuscheiden. Die Abscheiderate kann auf 0,01 µm bis 500 µm pro Stunde gesteuert werden. Zu den benutzerfreundlichsten Funktionen dieser Anlage gehören die automatisierte RHEED-Musterausrichtung, die Beispielausrichtung und die automatisierte Rezeptverarbeitung. Die Kammer ist für den Betrieb bei 10-11 Torr ausgelegt und verfügt über einen achtquellen-, viertaschig gepulsten Elektronenstrahlverdampfer, drei Effusionszellen und eine widerstandsbeheizte Knudsenzelle zur Abscheidung von dünnen Schichten bis zu mehreren Mikrometern Dicke. Die Doppelkammerkonfiguration ermöglicht maximale Flexibilität und Kontrolle über die Temperatur innerhalb der Abscheidekammer und ermöglicht einen hohen Produktionsdurchsatz Das VARIAN Generation II MBE-Modell kann Dünnschichtmaterialien höchster Qualität anbauen. Seine robusten Konstruktions- und Qualitätskontrollsysteme machen es zuverlässig und präzise, während seine hochwertigen Gasquellen- und Fördersysteme hohe Ertragseigenschaften gewährleisten. Seine Fähigkeit, gleichzeitig dicke und dünne Folien zu wachsen, bietet große Flexibilität, ermöglicht ein breites Anwendungsspektrum und liefert überlegene Erträge.
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