Gebraucht VARIAN / VEECO GEN II #9257237 zu verkaufen

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ID: 9257237
MBE System Controller rack Loadlock Wafer transfer module SS Elbow Turbo pump to chamber Power supply variable TV Power controller (3) Vacuum pump controllers Ion source power supply Gate valve poppet assy Ion source gun Rod Wafer gripper Main chamber Misc items: SM Cables Power supply Manuals.
VARIAN/VEECO GEN II ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Ausrüstung, die für das Wachstum von Niedertemperaturbauelementen wie Supraleitern, Halbleitern und Ferromagnetik entwickelt wurde. Es besteht aus einer UHV-Kammer (Ultrahochvakuum), einer Reihe von Abscheidungsquellen und einer Reihe von Massenanalysatoren. Die UHV-Kammer ist so konzipiert, dass sie ihre Innenumgebung bei Drücken von weniger als 2 x 10 ^ -7 Torr aufrechterhält, weit niedriger als in herkömmlichen Laboren. Dies geschieht durch die Aufrechterhaltung einer völligen Abwesenheit von Partikeln innerhalb der Kammer, während auf eine Kombination von Pumpen und kontinuierlichem Gaseintrag angewiesen ist, um den niedrigen Druck aufrechtzuerhalten. Die Partikelzahl innerhalb der Kammer wird dann von einem Kontrollsystem überwacht und verwaltet. Abscheidungsquellen innerhalb der Kammer ermöglichen ein kontrolliertes Wachstum von Materialien wie GaAs, InP, Si, Ge und vielen anderen. Die Quellen bestehen aus mehreren Quarzbooten (für feste Quellen), die gegen Heizungen gehalten werden, um eine Solltemperatur und eine Widerstandsdampfquelle aufzunehmen. Die Boote sind in der x-, y- und z-Ebene verstellbar, was eine Feineinstellung der Schichtdicken ermöglicht. Die Bootstemperatur wird mit einem Thermoelement, das auf weniger als 200 ° C kalibriert ist, exakt geregelt. Die Massenanalysatormaschine dient zur Restgasanalyse oder zur direkten Flussmessung von Quellen innerhalb der Kammer. Sie besteht aus verschiedenen Ionisationsquellen, die über einen differentiell gepumpten Seitenanschluss direkt an die UHV-Kammer anschließen. Dieses Tool kann Arten wie O2, H2O, Luft und viele andere erkennen. Die UHV-Kammer, Abscheidungsquellen und Massenanalysatoren sind alle mit einer Computer-Bedienstation verbunden. Diese Station enthält eine Datenerfassungseinrichtung und eine Steuerschnittstelle, die eine Automatisierung des gesamten Abscheideprozesses ermöglicht. Das Modell verfügt über sieben rezeptgesteuerte Rezepte und eine breite Palette von anpassbaren Parametern, so dass es für eine Vielzahl von Substratmaterialien und Gerätetypen geeignet ist. VEECO GEN II ist eine fortschrittliche MBE-Ausrüstung und bleibt die Wahl vieler Forscher im Bereich der Niedertemperaturgeräte. Seine starke Kombination aus UHV-Anforderungen, Abscheidungsquellen und Gasanalysefähigkeiten ermöglicht eine breite Palette gerätebezogener Experimente und macht es zu einem wertvollen Werkzeug für Forschung und Geräteherstellung.
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