Gebraucht KLA / TENCOR SFS 6420 #9017662 zu verkaufen

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KLA / TENCOR SFS 6420
Verkauft
ID: 9017662
Wafergröße: 8"
Particle counter, 8".
KLA/TENCOR SFS 6420 Wafer Testing and Metrology System ist ein hochmodernes System zur Messung und Analyse fortschrittlicher Halbleitertechnologien. KLA SFS 6420 basiert auf einer integrierten Hard- und Softwareplattform, die eine Vielzahl von Inspektionswerkzeugen bietet, um eine robuste Prozesskontrolle und ein robustes Ertragsmanagement zu erreichen. TENCOR SFS 6420 verwendet ein 300mm Wafer-Inspektionswerkzeug, um eine Vielzahl von Parametern zu messen und zu analysieren, einschließlich Fehlererkennung, topologische Merkmale, Maskenausrichtungen und Überlagerungsgenauigkeit. Es ist in der Lage, Wafer mit Dicken von 200 μ m bis 12,6 μ m zu analysieren, die auf einen Roboterarm zum Zonieren und Bewegen belastet sind. SFS 6420 nutzt modernste optische Technologien und kann hochauflösende Werkzeugkarten und andere topologische Merkmale bewerten. Die Fehlererkennungstechnologie von KLA/TENCOR SFS 6420 ist in der Lage, Merkmale von Interesse wie Versetzungen, Körner, Partikel, unregelmäßig geformte Gruben oder Löcher zu erkennen und zu identifizieren, die zu klein sind, um mit bloßem Auge aufgelöst zu werden. Seine hohe Empfindlichkeit ermöglicht auch den Nachweis von Minutenpartikeln, die bei der Verarbeitung eingebracht werden. KLA SFS 6420 kann Feinheiten in der Waferoberfläche erfassen, um eine weitere Analyse und Bewertung von Fehlergrößen und Dichte zu ermöglichen. Bei der Messung der Maskenausrichtung und der Overlay-Genauigkeit verwendet TENCOR SFS 6420 eine leistungsstarke Overlay-Messtechnik zur Beurteilung parametrischer Schwankungen in der Ausrichtung zwischen zwei Merkmalen auf demselben Wafer oder zwischen zwei unterschiedlichen Wafern. Es ist in der Lage, subtile Fehlstellungen zwischen verschiedenen Strukturen zu erkennen, die unter herkömmlichen optischen Mikroskopen nicht sichtbar sind. Dies gibt eine sofortige Rückmeldung über die Unterschiede zwischen den Ebenen und hilft bei der Identifizierung von Verarbeitungsproblemen für Fehleranalysen oder Ertragsverbesserungen. Die Softwareplattform von SFS 6420, WinSFS, gewährleistet eine umfassende Kontrolle des Messprozesses, vom Rezept-Parameteraufbau bis zur Anzeige der Messergebnisse. Darüber hinaus bietet es verschiedene Datenerfassungs- und Analysetools für die weitere Datenverarbeitung an. Darüber hinaus ist die benutzerfreundliche Oberfläche für Waferinspektions- und messtechnische Anforderungen leicht zugänglich. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR SFS 6420 Wafer Testing and Metrology System ein fortschrittliches Messwerkzeug, das Wafer mit hoher Auflösung und Genauigkeit analysieren kann. Die umfassende Softwareplattform bietet ein benutzerfreundliches Erlebnis zur Steuerung von Inspektions- und Messtechnik-Prozessen, Fehleranalyse und Ertragsverbesserung.
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