Gebraucht ABM ABM-60 #9222282 zu verkaufen

ABM ABM-60 ist ein Photoresist-Gerät zur Herstellung von VLSI-Schaltungen. Es verwendet einen Elektronenstrahl, um den Photolack zu belichten, um Nanomuster auf dem Substrat zu erzeugen. Der Elektronenstrahl wird durch ein programmierbares Ablenksystem durch das Substrat geleitet, das so gesteuert werden kann, dass er den Strahl in x-, y- und z-Richtung genau bewegt und dem Substrat einen signifikanten Strom zuführt. Dies ermöglicht eine präzise Strukturierung von Merkmalen mit extrem engen Toleranzen. Der in ABM-60 verwendete Photoresist ist speziell für die Handhabung hoher Dosen von Elektronenbelastung konzipiert und ist sowohl gegen chemisches Ätzen als auch gegen Oxidation während des Herstellungsprozesses beständig. Darüber hinaus können verschiedene Photolackmaterialien in Kombination verwendet werden, um eine Vielzahl von Designmerkmalen zu schaffen. Der Photolack kann auch mit einer Vielzahl von chemischen Behandlungen entwickelt werden, die es dem Benutzer ermöglichen, die Aushärtezeit zu steuern und komplexe Formen zu schaffen. ABM ABM-60 enthält auch ein automatisiertes Softwarepaket, das es dem Benutzer ermöglicht, die Merkmale und Parameter des Elektronenstrahls in die Einheit zur Verarbeitung zu programmieren. Dies bietet eine flexible Plattform für den industriellen Anwender, um die Lithographie anzupassen, was hilft, Zykluszeiten zu reduzieren und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt ABM-60 über eine Vakuumkammer, die zwei Funktionen erfüllt: eine saubere und partikelgesteuerte Umgebung bereitzustellen und die Erwärmung des Photolacks zu unterstützen. Das Gerät kann Substrate bis zu 8 „im Durchmesser und 17“ tief aufnehmen, so dass es die Kapazität, große und komplexe Schaltungen zu handhaben. ABM ABM-60 ist aufgrund der hochpräzisen Ergebnisse, der automatisierten Software und der robusten Konstruktion eine ideale Maschine für die Herstellung von VLSI-Schaltungen. Sie wird häufig in der Luft- und Raumfahrt- und Halbleiterindustrie eingesetzt, wo Merkmale mit höchster Genauigkeit verarbeitet werden müssen.