Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9221786 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY ist eine Photolackanlage für subtraktive Ätzprozesse. Dieses System verwendet eine Reihe von optischen Komponenten, um einheitliche und präzise Maskenmuster auf der Oberfläche eines Substrats zu erstellen. Photolack ist ein lichtempfindlicher Film, der auf das Substrat aufgebracht und einer intensiven Lichtquelle ausgesetzt werden kann. Die Lichtquelle kann je nach Art des verwendeten Photolackmaterials entweder UV oder sichtbares Licht sein. Das belichtete Photolackmaterial wird dann entweder mit einem chemischen Entwickler oder einem Heizplattenentwickler entwickelt. Das entwickelte Resistmuster wird dann beim Ätzen auf das darunter liegende Substrat übertragen. FSI Mercury ist in der Lage, präzise dreidimensionale Musterung in einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Quarz und Metalle zu produzieren. Das Gerät verwendet einen maskenlosen Stepper, um die Maske genau über dem Substrat zu positionieren. Durch die Präzision dieser Positionierung lassen sich extrem feine Auflösungsmuster erzeugen. Darüber hinaus gewährleistet die Genauigkeit des Schrittes, dass das erzeugte Resistmuster konsistent und wiederholbar ist. Die Maschine verwendet auch eine Reihe von Abbildungsoptiken, einschließlich Ameroid-, Projektions- und Diodenlaser, um eine genaue optische Abbildung des Substrats zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine sehr hohe Auflösung der erzeugten Waferoberflächenmuster. Darüber hinaus sorgt die integrierte globale Beleuchtungskarte dafür, dass alle Oberflächen des Wafers gleichmäßig und konsistent belichtet werden. TEL Mercury verfügt auch über eine Vielzahl von Prozesssteuerungen, einschließlich Temperatur, Druck und chemische Lösungen, um eine Vielzahl von Resistentwicklungs- und Ätzprozessen zu ermöglichen. Diese Reihe von Prozesssteuerungen ermöglicht es dem Anwender, seinen Ätzprozess für Materialien wie Metall, Quarz, Polysilizium und ICs einfach zu konfigurieren. Darüber hinaus verfügt Mercury über eine Reihe von Software-Tools, die den Ätzprozess vereinfachen. Diese Werkzeuge bieten eine digitale Überwachung und Steuerung der Abbildungs- und Ätzparameter, was dazu beiträgt, dass das optimale Muster erzeugt wird. Darüber hinaus umfasst das Tool Funktionen wie automatische Resist-Entwicklung und die Möglichkeit, Rezepte für bestimmte Benutzeranforderungen zu speichern und zu speichern. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Mercury ein Photoresist-Asset, das entwickelt wurde, um Präzisionswiderstandsmuster für verschiedene Ätzprozesse zu erzeugen. Es umfasst verschiedene Abbildungsoptiken und Prozesssteuerungen, um Benutzern zu helfen, das Modell für optimale Ergebnisse zu konfigurieren. Darüber hinaus werden eine Reihe von Software-Tools angeboten, um den Ätzprozess zu vereinfachen und sicherzustellen, dass die Resistmuster konsistent und wiederholbar sind.