Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158303 zu verkaufen

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
Verkauft
ID: 9158303
Cluster spray coating / processing system Computer control Staubli unimaton robotic arms Nesting stations Chill units.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000 ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die für die nächste Generation fortschrittlicher integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Die Photoresistverarbeitung ist eine wesentliche Technologie bei der Herstellung integrierter Schaltungen, da sie zur Erzeugung von Mustern auf Schichten aus lichtempfindlichem Material verwendet wird. FSI Polaris 2000 ist mit einem fortschrittlichen zweiseitigen Spinnwaferhalter ausgestattet, um die Gleichmäßigkeit der Photolackbeschichtung zu fördern. Das System umfasst auch eine Nassverarbeitungsstation mit automatischer Modulwäsche für eine effiziente Fertigung sowie eine automatisierte Antireflexbeschichtung. Das Gerät wurde entwickelt, um eine genaue Musterregistrierung und eine hochauflösende optische Leistung zu gewährleisten und sicherzustellen, dass komplizierte Designs auf Halbleiterscheiben genau repliziert werden können. Zusätzlich kann die Maschine mehrere Arten von Resistmaterial verarbeiten, einschließlich positivem und negativem Tonmaterial, wodurch es sowohl in der Entwicklung als auch in der Produktion einfach zu bedienen ist. Das Tool hat auch die Möglichkeit, Misch- und Matchmodule zu integrieren, die spezifischen Anforderungen der Kundenanwendung entsprechen. Die Misch- und Anpassungsmodule umfassen einen Wärmetemperaturscan, einen Design-Rule-Checker und ein planares Verarbeitungsmodul. Neben seiner schnellen und präzisen Photolackverarbeitung verfügt das Asset auch über eine innovative Benutzeroberfläche für eine verbesserte Produktivität. Mit der benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) können Anwender Rezepte schnell anpassen und Prozessparameter schnell anpassen, ohne die Waagen manuell anpassen zu müssen. Schließlich verfügt TEL Polaris 2000 über ein integriertes Selbsttestmodell, um sicherzustellen, dass die Geräte vor und während der Produktion ordnungsgemäß betrieben werden. Dieses System umfasst ein Selbstdiagnosemodul, ein Instandhaltungszyklusmodul und ein nachhaltiges Qualitätssicherungsmodul. Eine solche umfassende Einheit hilft Anwendern, das Beste aus ihrem Photoresist-Herstellungsprozess herauszuholen und eine gleichbleibende und qualitativ hochwertige Ausbeute zu gewährleisten.
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