Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 #293658866 zu verkaufen

ID: 293658866
Weinlese: 1997
1997 vintage.
TEL I/F Block for Clean Track Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die präzise Belichtung von Fotoresists entwickelt wurde, um gemusterte Filmbilder auf Substraten zu erstellen. Es ist präzise entwickelt, um ein kosteneffizientes, durchsatzstarkes, benutzerfreundliches Werkzeug für Belichtung und Bildentwicklung zu sein. Das System verfügt über einen Modulationsscan von etwa 20 m/s für ein 6-Zoll-Substrat, so dass Benutzer die Belichtungszeiten minimieren und die photoinduzierte Bildunschärfe reduzieren können. Es verfügt außerdem über eine automatische Waferausrichtung mit einer maximalen Positionsgenauigkeit von 0,1 µm und einer vollen Bildkante zum Kantenscan des Substrats. Das Gerät verwendet eine hochwertige optische Bildgebungsmaschine, um eine breite Palette von Bilderzeugungsfunktionen zu gewährleisten. Es ist mit einem zweiteiligen gusseisernen Gitter zur Totalkontrolle über Substratjitter ausgelegt und die axiale Neigung ist für eine präzise und wiederholbare Bildplatzierung auf dem Substrat einstellbar. Das automatische Nivellierwerkzeug des Geräts verwendet einen Hochgeschwindigkeits-Linearantrieb, Präzisionsgeber und einen Z-Achsen-Galvanometer-Controller, um eine genaue und wiederholbare Substratpositionierung zu gewährleisten. Die Anlage wurde entwickelt, um die temperaturbedingte Ausdehnung und Kontraktion des optischen Pfades zu minimieren und eine überlegene Bildgebungsleistung zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 's advanced exposure controller nutzt eine grafische Benutzeroberfläche für benutzerfreundliche Bedienung. Das integrierte PARADITM-Softwarepaket ermöglicht es Anwendern, bildgebende Parameter wie Belichtungszeiten, Spotgröße und Fokus für maximale Belichtungspräzision zu optimieren. Schließlich wurde das Modell entwickelt, um eine überlegene bildgebende Leistung über eine breite Palette von Photolackbeschichtungen zu bieten. Die Präzisionsbelichtungsanlage ist optimiert für optimale Leistung bei Verwendung mit TEL/TOKYO ELECTRON proprietären Lithographieprodukten. Darüber hinaus ist das Gerät mit verschiedenen Fotolackprodukten von Drittanbietern kompatibel. TEL I/F Block für Clean Track Mark 8 wurde entwickelt, um Anwendern ein fortschrittliches Belichtungssystem für kosteneffiziente, hochdurchsatz- und benutzerfreundliche Fotoresist-Bildgebung zur Verfügung zu stellen. Seine Konstruktionsmerkmale sorgen für überlegene Bildgebungsleistung und maximale Belichtungspräzision.
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