Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9202527 zu verkaufen

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STEAG / MATTSON / AST 2800
Verkauft
ID: 9202527
RTP System.
Der schnelle thermische Prozessor STEAG/MATTSON/AST 2800 ist ein ausgeklügeltes Werkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, das das schnelle, präzise thermische Glühen von kompliziertem Halbleitermaterial ermöglicht. Der Prozessor kombiniert die neuesten ultraschnellen Heiz- und Kühltechnologien, um Prozesszeiten zu reduzieren und gleichzeitig ein hohes Maß an thermischer Kontrolle und Symmetrie beizubehalten. Die Vorrichtung weist eine Zweizonengasdispersionsdüse auf, die eine entsprechende Gasgemischverteilung über den Wafer für eine optimale thermische Glühung ermöglicht. Darüber hinaus sorgt die einzigartige beheizte Suszeptorplatte des Prozessors für eine ordnungsgemäße und konsistente Erwärmung der gesamten Waferoberfläche. Dies gewährleistet eine optimale thermische Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zwischen den Prozessabläufen. Mit seinem Bordcomputersystem ist der Prozessor in der Lage, eine hochgenaue thermische Profilierung der Waferoberfläche durchzuführen. Dies wird erreicht, indem ein hochgenauer Wärmeflussensor und fortschrittliche Software-Steuerungsalgorithmen verwendet werden, um Temperaturänderungen im Laufe der Zeit mit extrem hoher Genauigkeit zu messen und aufzuzeichnen. Diese Daten ermöglichen dann die präzise Kontrolle von Wärmeglühzeiten und Temperaturen und geben gleichzeitig Feedback, um sicherzustellen, dass Prozesse innerhalb vorgegebener Profile bleiben. Darüber hinaus ist der Prozessor mit modernsten Sicherheitstechnologien ausgestattet, einschließlich eines Notwärmeabweisungssystems, das in der Lage ist, einen Wafer bei unerwarteter Überhitzung schnell zu kühlen. Darüber hinaus wird der Prozessor für den Betrieb in einer Druckumgebung von bis zu 200 mbar bewertet, um sicherzustellen, dass empfindliche Materialien bei thermischem Glühen keine negativen Nebenwirkungen aufweisen. Insgesamt ist der schnelle thermische Prozessor AST 2800 ein unschätzbares Werkzeug für jede Halbleiterherstellung, die eine schnelle, präzise thermische Glühung empfindlicher Materialien erfordert. Die Kombination aus fortschrittlichen Temperaturmess- und Steuerungsalgorithmen sowie anspruchsvollen Sicherheitsmerkmalen machen es zu einem äußerst zuverlässigen und vielseitigen Gerät für eine Vielzahl von Prozessen.
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