Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811 ist ein niederdruckchemischer Dampfabscheidungsreaktor (LPCVD), der für die Herstellung hochreiner dünner Beschichtungen wie Siliziumnitrid, Polysilizium, Siliziumoxid und Wolfram ausgelegt ist. Die Reaktorkammer besteht aus Edelstahl und ist je nach Prozessanwendung für den Betrieb bis 1050 ° C ausgelegt. Mit einem Innenvolumen von 1,2 bis 7,6 Kubikfuß ist AMAT AMC 7811 in der Lage, bis zu 5 100mm Substrate, 4 150mm oder 2 200mm Substrate aufzunehmen. Der Reaktor ist mit einem leistungsfähigen Wafertransport ausgestattet, um Substrate schnell und präzise durch das Gerät zu bewegen. Der Transporter arbeitet mit einer Frequenz von bis zu 10kHz und sorgt für eine schnelle Reaktionszeit. Der Wafertransport ist so ausgelegt, dass er mit einem frequenzmodulierten HF-Generator zur genauen Substratpositionierung arbeitet. APPLIED MATERIALS AMC-7811 verfügt zudem über ein hochmodernes Prozessleitsystem, das wichtige Prozessparameter wie Temperatur, Kammerdruck, Durchfluss und Feuchtigkeit überwachen und steuern kann. Darüber hinaus bietet das Gerät erweiterte Diagnosefunktionen für Gasreinheit und Waferuniformität. Diese Merkmale gewährleisten die Prozesswiederholbarkeit für jedes Substrat, was zu einer gleichmäßigen Schichtdicke und Strukturen führt. AMC 7811 wurde entworfen, um die anspruchsvollen Anforderungen der Hersteller durch die Bereitstellung von effizienten und qualitativ hochwertigen Produktionsprozessen zu erfüllen. Es bietet Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über einen weiten Bereich von Temperatur und Druck, mit Gleichmäßigkeit besser als ± 1%. Zusätzlich ist die Maschine in der Lage, Abscheideraten von bis zu 10 nm und Ablagerungsraten von bis zu 40 Angström pro Sekunde zu erzeugen. AMAT AMC-7811 Reaktoren bieten ein kompaktes und zuverlässiges Werkzeug für Forschungs- und Produktionsanforderungen. Es ist ideal für die Herstellung von dünnen Schichten und ermöglicht eine einfache Wartung und Wartung mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Darüber hinaus ist das Asset voll kompatibel mit AMAT Suite von Prozessmodulen zur weiteren Anpassung nach Wunsch des Anwenders.