Gebraucht ULVAC IBS #9062038 zu verkaufen

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Hersteller
ULVAC
Modell
IBS
ID: 9062038
Deposition system Includes: BROOKS Cryopump, 16" RF Ion source, 16cm (2) Targets BROOKS Ion gauge set VAT Gate valve Temperature control Water cool system Vacuum pumping Target feedthrough HSF Size: < 12" Diameter with center hold Advanced uniformity control system.
ULVAC IBS ist eine Art Niederdruck-Ionenstrahlquelle mit hoher Dichte mit verbesserter Ionenstrahlqualität und verfügt über eine optimierte magnetisch isolierte Ionenoptik. IBS ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Ionenstrahlanwendungen wie UHV-Sputtern, Ionenimplantation, SIMS, EBIS und anderen entwickelt und verwendet eine einzigartige Magnetfeld-Konfiguration, um Ionenbahnen zu steuern und zu steuern. ULVAC IBS Kern besteht aus zwei Hauptkomponenten. Die erste ist die Ionenquellenkammer, die eine Schubkanone, eine flüssige Metallionenquelle und den Leuchtstoffschirm beherbergt. Die Schubkanone schafft Ionen, indem sie Materialien mit energiereichen Elektronen bombardiert, während die flüssige Metallionenquelle (LMIS) einen gleichmäßigen, gleichmäßigen Ionenstrahl mit geringer Energieausbreitung erzeugt. Das LMIS erzeugt mit einer niedrigviskosen flüssigen Gallium-Indium-Legierung den Ionenstrom, der dann vom Leuchtstoffschirm zur Erzeugung des gewünschten Strahlstroms gedämpft wird. Der zweite Teil von IBS ist das ionenoptische System. Diese Einheit besteht aus mehreren verschiedenen Magneten, die ein 3D-Feld erstellen, um den Ionenstrahl zu steuern und zu formen. Diese Magnete sind eine Kombination aus drei Trimmspulen, Magnetspulen und Elektronenunterdrückungsspulen, die alle zusammenwirken, um einen stabilen Ionenweg zu schaffen und den Strahl auf die Zielprobe fokussiert zu halten. Die Kombination von Ionenquelle und Ionenoptik sorgt für einen hochwertigen und stabilen Ionenstrahl. Es ermöglicht auch Ionenstrahlen mit hoher Stromdichte im Milliampere-Bereich pro cm2, was ideal für Anwendungen mit hohem Ionenstrom ist. Das Magnetfeld erhöht auch den Wirkungsgrad des Ionenstrahls und kann so eingestellt werden, dass unterschiedliche Strahlcharakteristiken wie kugelförmige und nahezu isotrope Emission erzeugt werden. ULVAC IBS verfügt auch über effizientes Pumpen der Ionenquellenkammer, ein verbessertes Operationssteuerungswerkzeug und erweiterte Diagnosefunktionen. All diese Funktionen zusammen machen IBS zu einer der zuverlässigsten und robustesten Ionenstrahlquellen. Das Gerät ist in der Lage, die Strenge der anspruchsvollsten Anwendungen zu widerstehen und eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen.
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