Gebraucht HITACHI S-9200SA #165834 zu verkaufen
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ID: 165834
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2000
CD SEM system, 8"
Workstation:
Model : B2600
O/S :HPUX
Software Version : 18.35ev15
IP Read : 5.4~16.1pA(Low mode)
CD measurement principle: Cursor and line profile measurement
CD measurement range: 0.1 to 2.0 um
Secondary electron image resolution: 3nm
Image magnification: SEM image; 500 x 300,000
Optical microscope image; about x110
Specimen stage:
Movement range X and Y: 0-200mm
Stage drive: Pulse motor
Control and speed: max. speed 100mm/s
Wafer loader:
Wafer transfer from cassette to loader chamber: Auto transfer via wafer transfer robot
Wafer transfer from loader chamber to stage: Auto evacuation and auto loading
Wafer transfer robot system: random access using (2) cassettes
Wafer detection in cassette: Auto detection via wafer searcher
Chucking method: Vacuum chucking on back of wafer
Orientation flat/ V notch detection: non-contact auto detection via optical sensor
Electron Optics: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1600V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system, booster objective lens
Secondary electron detection: Scintillator/ photomultiplier detection system
Objective lens aperture: Heating type movable aperture
Scanning coil: 2-stage electromagnetic type (X, Y axes)
Probe current monitoring: Faraday cup incorporated, with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm square visual field, monochrome image
Control and display system:
Viewing control CRT: 21 type monitor
Scanning modes: TV scan, HR scan, SLOW scan
Image processing: Software processing using filtering
Saftey device: Equipped with emergency off switch
CD measurement data processing system:
File storage
Storage media: Hard disk (2GB), 3.5 type magneto-optic disk, 3.5 floppy disk
Data processing function: statistics scanning using worksheet system
Printout: 80-character thermal printer
Evacuation system:
Evacuation principle: Full automatic dry & clean evacuation
Vacuum pumps: (3) Ion pump, (2) turbo molecular pump, (2) oil rotary pump
Safety devices
N2 Gas source (for leak):
Gas pressure: 200 to 660 kPa
Outside Diameter of connecting tube: 6um
Compressed air source (for valve drive)
Air pressure: 600 to 880 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm
Vacuum source (for auto loader)
Vacuum pressure: P= 1.3 to 21.3 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm.
VIPS and Cognex are missing
Currently warehoused
2000 vintage.
HITACHI S-9200SA Rasterelektronenmikroskop ist ein Hochleistungswerkzeug für fortschrittliche wissenschaftliche und industrielle Anforderungen. Es bietet mit seinen fortschrittlichen Scan- und Erkennungstechnologien eine überlegene Bildauflösung, Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit. Seine große Kammer und hochauflösendes Anti-Vibrationssystem bieten eine sehr stabile Umgebung und überlegene Bildklarheit, während seine breite Palette von automatisierten Operationen eine effiziente und benutzerfreundliche Bedienung gewährleisten. S-9200SA zeigt eine schnelllaufende ultrahohe Auflösung PCO (richtige vereinigte Optik) und Untersuchungssysteme scannend, die leicht geändert werden und einer langen Arbeitsentfernung bis zu 160 mm anbieten können, um verschiedene Beispielgrößen und Formen anzupassen. Diese Funktion ist ideal für Nicht-Standard-Proben. Das PCO ermöglicht zusammen mit der Multitilt- und Rotationsprobenvorbereitung eine optimale Bildklarheit. Das Abtastsystem bietet eine hervorragende bildgebende Auflösung und Kontrast zur Integration einer Ultrahochvakuum (UHV) -Säule und einer Probendrehstufe. Es verfügt außerdem über eine automatische Probenstufenbewegung und einen sechsachsigen Probenmanipulator zur detaillierten Analyse. Die hohe lineare Genauigkeit der Probenstufe ist auch für die genaue Messung mittelgroßer und kleiner Probenteile vorteilhaft. Das Mikroskop ist auch mit einer ganzen Reihe von Detektoren und Signalprozessoren ausgestattet, von Sekundärelektronen und rückgestreuten Elektronendetektoren über EDX-Elementaranalyse (EDX), Röntgenmikroanalyse (XRM) und Kathodolumineszenz. Es verfügt auch über fortschrittliche digitale Bildgebung mit der Fähigkeit, 3D-Tiefenanalyse durchzuführen, automatisierte Pixel-Korrelationstechniken und verschiedene integrierte Funktionen wie Zeilenscanmodus und Z-Slicing. Dies gewährleistet eine zuverlässige Datenerfassung und -analyse sowie einen einfachen Zugriff auf Ergebnisse. HITACHI S-9200SA bietet eine hervorragende Bildqualität mit rauscharmen Hintergründen und einem hohen Signal-Rausch-Verhältnis. Damit kann das Mikroskop in anspruchsvollen Life Science und industriellen Anwendungen wie Nanosurfacing, Halbleiterindustrie, Elektronik, Materialwissenschaften und Nanotechnologie eingesetzt werden. Insgesamt ist S-9200SA ein High-End-Rasterelektronenmikroskop, das eine überlegene bildgebende Auflösung mit vielseitigen Optionen für anspruchsvolle Proben kombiniert und eine komplexe Analyse und Forschung ermöglicht. Das Angebot an automatisierten Operationen, anspruchsvollen Detektoren und Prozessoren sowie die 3D-Tiefenanalysefunktionen machen es zu einem idealen Werkzeug für industrielle und akademische Forschungsprojekte.
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