Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #140297 zu verkaufen

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EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE
Verkauft
ID: 140297
Parts: RF resonator 1089350 Resonator DI PCB 1522270 Sparc workstations: sun1 and 2 Sliding seals kit: GSD 1045950 8" handler conversion kit (exec. Disk).
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE ist eine computergesteuerte Ionenimplantations- und Monitorausrüstung, die die präzise Implantierung von Halbleiterbauelementen mit höchster Produktivität und Systemverfügbarkeit ermöglicht. Es bietet fortschrittliche Technologie, die die Erträge von Implantaten maximiert und den effizientesten Implantationsprozess erreicht. AXCELIS NV GSD HE besteht aus mehreren Modulen, darunter einem Ionenquellentreiber, einem Strahlstrommonitor, einem Gaspanel und einer Prozesssteuereinheit. Diese Maschine ist für den Einsatz in Verbindung mit AXCELIS High Current/High Energy (HC/HE) oder EATON NOVA Low Current/High Energy (LC/HE) -Implantationsplattform konzipiert. Der Ionenquellentreiber ist das Herzstück des Werkzeugs und ermöglicht eine präzise Steuerung des Strahlstroms mit präzisen und stabilen Implantationsprozessen. Dies ermöglicht eine präzise Reproduzierbarkeit und niedrige Implantatausbeuten. Der Strahlstrommonitor garantiert höchste Stabilität und Zuverlässigkeit bei präziser Strahlstromüberwachung. Durch die Überwachung der Ergebnisse des Implantationsprozesses ermöglicht es maximale Präzision und Wiederholbarkeit. Das Gaspanel ermöglicht eine präzise Steuerung des Gasstroms, wodurch Implantationen optimiert werden können. Das Process Control Asset ermöglicht eine schnelle und genaue Kontrolle der Implantationen und ermöglicht eine detaillierte Datenerfassung und -kontrolle. EATON NOVA NV-GSD HE bietet erweiterte Funktionen, wie integrierte Fehleranalysesysteme, die es dem Bediener ermöglichen, die Quelle eines Gerätefehlers schnell zu beheben, sowie ausgeklügelte Software-Tools, um eine präzise Kontrolle über den Implantationsprozess zu ermöglichen. Mit seinen ausgeklügelten Diagnosefunktionen stellt das Modell sicher, dass auftretende Probleme schnell und effizient gelöst werden können. Insgesamt liefert EATON NOVA NV-GSD-HE präzise, zuverlässige und reproduzierbare Implantationsprozesse und ist ein wichtiger Faktor für die Erzielung präziser, präziser Geräteherstellungserträge. Es bietet erweiterte Funktionalität sowie zuverlässigen und effizienten Betrieb, so dass es ein wesentliches Element in jeder Halbleiterausrüstung Setup.
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