Gebraucht KLA / TENCOR 2135 / 2138 #129087 zu verkaufen

KLA/TENCOR 2135/2138 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionseinrichtung zur Erkennung von Defekten auf integrierten Schaltungen (ICs). Sein modernstes optisches System und seine Bildverarbeitungsfunktionen ermöglichen es dem Gerät, Wafer und Masken in hoher Auflösung zu inspizieren. Seine hochempfindliche CCD-Kamera ist in der Lage, Musterelemente zu erkennen und zu messen, um Fehler schnell und genau zu erkennen. KLA 2135/2138 erkennt Kantenmerkmale, Linienbreite, Gate/Kontakt-Strukturierung, innerhalb und zwischen Merkmalen, Abständen, Kerben und anderen Fehlern. Es ist auch in der Lage, die Alphasteigung, die Ausrichtung der Schichten, den Überlagerungsbetrag und die Maßtoleranzen zu messen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über die Möglichkeit, Fehler schnell und vollständig mithilfe von APIs (Application Programming Interfaces) zur kundenspezifischen Automatisierung zu charakterisieren. TENCOR 2135/2138 verfügt über ein vollständig integriertes Messtechnikwerkzeug mit einer fortschrittlichen 7-Achsen-Stufe, mit der das Gerät auf beliebige Bereiche der Probe mit Bewegungen mit variabler Geschwindigkeit zugreifen kann. Die Fähigkeiten von 2135/2138 umfassen schnelle Inspektion, hohe Genauigkeit, hohe Empfindlichkeit und hohe Zuverlässigkeit. Darüber hinaus kann das Modell eine automatisierte Bilderfassung und Fehleranalyse sowie Fehlerüberprüfung und -klassifizierung durchführen. Die Software der Geräte unterstützt mehrere Betriebsmodi, einschließlich einschichtiger, flacher, mehrschichtiger und OCR (Optical Character Recognition) Unterstützung. Das System verfügt auch über eine Vielzahl von Optionen für spezifische Anwendungsanforderungen, einschließlich Erweiterungs- und Kantenoptionen, Messtechnik und Overlay-Funktionen, erweiterte Fehlerklassifizierung und Komplexitätsanalyse sowie optionale Schnittstellenpakete. Insgesamt ist die KLA/TENCOR 2135/2138 eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektionseinheit zur Erkennung von Defekten an ICs. Es bietet eine hochauflösende Bildverarbeitungsmaschine mit fortschrittlichen und variablen Bewegungen bei hoher Genauigkeit und Empfindlichkeit. Es kommt auch mit einer Vielzahl von Software-Funktionen, so dass Benutzer das Tool für ihre spezifischen Anwendungen anpassen können.