Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse #166464 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 166464
RMA magnet assembly, model A126387 D1 Oriental Motor: 5IK40GN-AW.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse ist eine Sputteranlage, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und MEMs verwendet wird. Das System besteht aus direkten und indirekten Sputterwerkzeugen und eignet sich somit ideal für Anwendungen wie Dotieren, Dünnschichtabscheidung und Ätzen. Das Direktsputterwerkzeug verwendet Magnetronsputtern, das Magnetfelder verwendet, um ein inertes Gas zu ionisieren und zu beschleunigen, um ein Plasma zu erzeugen, das Material vom Target auf das Substrat sputtert. Diese Methode des Sputterns ist sehr effizient und eignet sich daher ideal für serienarme Auflagen. Das indirekte Zerstäubungswerkzeug verwendet eine Rolle-zu-Rolle-Abscheidekammer, um Material vom rotierenden Target auf das Substrat zu sputtern. Dieses Verfahren kann zur gleichmäßigen, hochwertigen Dünnschichtabscheidung im großen Maßstab eingesetzt werden, da das Target schnell und einfach ausgetauscht werden kann. Beide Dienste verfügen über mehrere Prozessrezepte, die eine einfache Anpassung und Optimierung an die Anforderungen ermöglichen. Die Sputtereinheit verwendet auch ein Bedienfeld und eine Software, die es dem Benutzer ermöglicht, die Prozessstabilität zu überwachen und eine konstante und konsistente Waferbearbeitung zu gewährleisten. MRC Eclipse ist sowohl zum Sputtern auf Argon- als auch Stickstoffbasis in der Lage, was eine überlegene Materialselektivität ermöglicht. Die Maschine ist mit einer automatischen Ausrichtfunktion ausgestattet, die eine einfache und genaue Positionierung von Ziel und Substrat in der Sputterkammer ermöglicht. Darüber hinaus ist TEL Eclipse mit einer Reihe optionaler Module kompatibel, wie reaktives Sputtern, Ionenquelle und elektrostatisches Spannfutter. Dies ermöglicht eine höhere Flexibilität und Präzision im Wettbewerb mit den Anforderungen verschiedener Prozessanforderungen. Das Tool bietet auch eine vollautomatische Wafer-Handhabung, die die Produktivität steigern und Ermüdung reduzieren soll. Dieses Modell ermöglicht vorprogrammierte Sputterverfahren und läuft ohne manuellen Eingriff. Durch die Kombination der neuesten Sputtertechnologie mit intuitiver Software bietet Eclipse eine zuverlässige und effiziente Sputterausrüstung, die den Anforderungen verschiedener Prozesse gerecht wird. Mit fortschrittlichen Funktionen wie Niederserienproduktion, Präzisionsausrichtung und automatisiertem Wafer-Handling ist TOKYO ELECTRON Eclipse eine ideale Sputteroption für Branchenexperten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor