Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822 zu verkaufen

ID: 9275822
TEL/TOKYO ELECTRON PHP Ofen für ACT 8 ist eine „Photoresist“ -Ausrüstung, die für den Einsatz in der Halbleiterbauelementproduktion und FA für LCD-Panel-Bauelemente konzipiert ist. Es verwendet die TEL-B-Tech PPS-Technologie, um präzise und stabile Heizung zu liefern, um die optimalen Ergebnisse für empfindliche Elektronik zu erzielen. Die Resistschicht vom Typ Phosphoroxychlorid (POCL3), die bei der Herstellung der LCD-Plattengeräte verwendet wird, wird im PHP-Ofen erwärmt, um eine gleichbleibende Qualität zu gewährleisten. Der PHP-Ofen besteht aus einer kurzen Kammer und Heizzone, Abgaszone, Diffusionszone und einer Abgaskammer. Es wurde entwickelt, um die Sauerstoffmenge effizient auf 2ppm oder weniger zu reduzieren, um die Stabilität der POCL3 Resistschicht zu erhalten. Die Heizzone ist mit Peltier-Elementen ausgestattet, um die Temperatur des Systems in einem Bereich von 20- 200 ° C, fünfzehn separate Wärmekanäle zu halten. Die Diffusionszone ist auch mit Peltier-Elementen ausgestattet, um die Temperatur des Ofens in einem Bereich von 0-200 ° C zu halten. Außerdem weist die Abgaskammer eine Dekontaminationseinheit auf, die ein Ausgasen von POCL3 in die Umgebung verhindert. Der PHP-Ofen verfügt auch über eine Hochleistungs-PIR-Infrarotlampe, die die Wärmeleitung von der Ofenkammer zum Substrat erhöht, was zu besseren Ergebnissen führt. Es verwendet auch einen elektrostatischen Filter, um den aus der Abgaszone emittierten Feinstaub zu reduzieren. Darüber hinaus ist seine Steuerungsmaschine mit Vakuumsteuerung und Temperaturregelung ausgestattet. TEL PHP Ofen für ACT 8 ist eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, stabile Bedingungen für die Herstellung von empfindlichen Elektronik, speziell für die Herstellung von LCD-Panel-Geräten. Dieses Tool wurde entwickelt, um schnelle und vorhersehbare Ergebnisse mit minimalem Fehler und Risiko zu liefern.
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