Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PVD #9213370 zu verkaufen

AMAT Inc. Der Endura Physical Vapor Deposition (PVD) Reaktor ist ein Mehrkammerwerkzeugsatz, der eine präzise Abscheidung verschiedener Dünnschichtmaterialien ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVD-Ausrüstung ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Herstellung von elektronischen Komponenten und Verbindungen, optoelektronische Geräte, vibrierende MEMS-Geräte und fortschrittliche Photovoltaik-Zellen. Das System ist modular aufgebaut, so dass unterschiedliche Konfigurationen für verschiedene Prozessanforderungen geeignet sind. AMAT Endura PVD-Einheit wird um einen zentralen Cluster der Ein- oder Doppelkammer-Maschinenkonfiguration gebaut. Jede Kammer enthält eine PVD-Quelle, wie eine Trimethylaluminium (TMA) -Bipolarquelle, Elektronen-Zyklotronresonanzquelle, Eisen-Brücke-Magnetronquelle oder eine ionisierte Clusterstrahlquelle. Die Quelle wird dann nacheinander auf Betriebstemperatur gebracht, wobei ein thermisches Regelwerkzeug für die Dauer des Abscheideprozesses eine genaue Temperaturstabilität aufrechterhält. Anschließend wird die Kammer mit einem Hochleistungs-Turbopumpmittel mit einer Vielzahl von Pumpgeschwindigkeiten evakuiert. Die Kammern sind so konzipiert, dass sie eine hochpräzise Flusssteuerung der eingehenden Quellmaterialien ermöglichen und eine sehr gleichmäßige Dünnschichtabscheidung ermöglichen. Die Prozesssteuerung ist auch in APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura PVD-Systemen verfügbar, die eine genaue Überwachung der Filmdicke in situ ermöglichen. Es stehen auch Aktoren und Bewegungsregler zur Verfügung, die eine Abscheidung über eine Vielzahl von Substratformen und -größen ermöglichen. Darüber hinaus können Endura PVD-Systeme mit ausgeklügelten Inline-Messtechnik-Fähigkeiten ausgestattet werden, einschließlich Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) und sekundäre Ionenmassenspektrometrie (SIMS). AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVD Modell ist auch entworfen, um Hochdurchsatzleistung zu erleichtern, mit hoher Reproduzierbarkeit von Abscheidungsrezepten und Prozessen. Schneller Werkzeugaustausch, schnelles Scannen von Prozessscheiben und schnelle Aufwärmzeit sorgen für eine reibungslose Produktion kritischer Anwendungen. Der Werkzeugsatz ist auch entworfen, um High-End-Ergebnisse in Bezug auf Substrat Kompatibilität, höchste Temperatur Gleichmäßigkeit und Abwesenheit von 'Edge-Effekt' zu gewährleisten. Alle kombinierten PVD-Geräte von AMAT Endura bieten eine vielseitige und präzise Abscheidetechnologie, die konfiguriert werden kann, um die Herstellung von hochdichten, kostengünstigen und hochleistungsfähigen Dünnschichtprodukten und -komponenten zu unterstützen.