Gebraucht ANATECH / TECHNICS Hummer #9004968 zu verkaufen

ANATECH/TECHNICS HUMMER ist eine Sputterausrüstung, die für die anspruchsvollsten Dünnschichtforschungs- und Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Das System bietet eine anpassbare Plattform mit modularen Konfigurationen, die auf spezifische Prozessanforderungen zugeschnitten werden können. Die Einheit umfasst eine integrierte Sputterquelle, einen Einzelquellenhalter, einen verstellbaren Substrathalter, einen geschlossenen Kammer-/Prozesskontrollmonitor und eine Gaseinlassmaschine. Die integrierte Sputterquelle wurde entwickelt, um eine Puls-Gleichstromquelle mit einer kontinuierlichen Energiequelle bereitzustellen, die von 0 bis 300 V DC einstellbar ist, während der verstellbare Substrathalter die Flexibilität bietet, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm mit einer besonderen Eigenschaft für abgewinkelte Wafer und Substrate zu bewegen. Der geschlossene Kammersteuerungsmonitor ermöglicht eine Echtzeit-Prozesssteuerung und -überwachung über einen Bereich von Bedingungen wie Druck, Temperatur und Sputterparametern. Die leistungsstarke Sputterquelle ist so konzipiert, dass sie ein hochenergetisches Glimmentladungsplasma und eine optimale Sputterausbeute liefert. Die Sputterquelle kann für spezifische Prozessanforderungen wie verbesserte Folieneinheitlichkeit und hohen Durchsatz angepasst werden. Das integrierte Gaseintrittswerkzeug ist so konzipiert, dass Gase ohne zusätzliche Komponenten leicht eingeleitet werden können. ANATECH HUMMER Asset wurde entwickelt, um die Anzahl der internen Komponenten, die Kontaminationen verursachen können, zu minimieren und einen robusten und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten. Das Modell wurde auch entwickelt, um die Partikelbildung und Sputterausbeute ungleichmäßig zu reduzieren. Das Gerät verfügt über einstellbare Sicherheitsparameter und ein Diagnosewarnsystem, um sicherzustellen, dass Sprühschutzmittel oder andere sicherheitskritische Systeme jederzeit in Betrieb sind. TECHNICS HUMMER ist eine robuste und zuverlässige Sputtermaschine, die dem Anwender Flexibilität und Kontrolle über die Prozess- und Sputterparameter bietet, um die gewünschten Abscheidungsergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug umfasst eine integrierte Sputterquelle, einen Einzelquellenhalter, einen einstellbaren Substrathalter, einen geschlossenen Kammer-/Prozesskontrollmonitor und ein Gaseinlassgerät, mit dem es auf spezifische Prozessanforderungen zugeschnitten werden kann. Die integrierten Sicherheitsparameter, das Diagnosewarnmodell und die einstellbaren Sputterquellen sorgen für maximale Zuverlässigkeit und Benutzerzufriedenheit.