Gebraucht BALZERS LLS EVO #9015975 zu verkaufen

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BALZERS LLS EVO
Verkauft
Hersteller
BALZERS
Modell
LLS EVO
ID: 9015975
Sputtering system Substrate: 4" (36 pcs) 6", (12 pcs) holder HV pump: CTI 8F OnBoard (LC / MC) Rough pump: TRIVAC D 65B (LC / MC) Polycold type: PFC 400 LT HV valve: VAT 014 2-POINT (LC), VAT 064 3-POINT (MC) Vent valve: VAP 025 / VAP040, Soft vent MFC 5 slm [N2] Heater: Heater shutter (LC) Etching in LC: RF sputter etch Electrical: 3 x 400 VAC, 60 Hz Power supplies: # 1, 2: DC 6 kW # 3: RF 2.5 kW Cathodes: Power supply #1: 1, 3 Power supply #2: 4, 5 Power supply #3: etch, 2 Target material: Ta: 1 SiO2: 2 Ta: 3 AlCu: 4 NiCr: 5 Manual handling Accessories: Second set of shields Second set of substrate tooling.
BALZERS LLS EVO ist eine Sputterausrüstung für fortschrittliche Dünnschichtforschung. Dieses System bietet innovative Prozesslösungen wie Abscheiden, Ätzen und Strukturieren von dünnen Schichten. Es eignet sich für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen, einschließlich Halbleiter, Metalle und Isolatoren. LLS EVO ist eine vielseitige Maschine mit fortschrittlicher Software, die Anwendern eine breite Palette von Sputter- und Ätzprozessen bietet. Es ist einfach zu bedienen und anpassbar, um eine Vielzahl von Sputterprozessen zu erfüllen. Das Gerät verfügt über eine große Kammerfähigkeit, die es dem Anwender ermöglicht, großflächig extrem gleichmäßige Folien zu erzielen. Das Prinzip der BALZERS LLS EVO Sputtermaschine besteht darin, einen Gasphasenprozess zu nutzen, um eine bessere Oberfläche und eine niedrigere Temperaturverarbeitung zu gewährleisten. Dieses Verfahren wird durch Einbringen inerter Gase wie Argon, Krypton, Stickstoff und Xenon in die Kammer erreicht. Diese Gase werden in der Kammer auf ca. 700 m/s beschleunigt und stoßen mit dem Sputtertarget zusammen. Dadurch wird das Target aufgeladen und die inerten Gase werden ionisiert, wodurch ein elektrisches Plasma entsteht, aus dem das Sputtern ausgelöst und Filme auf dem Substrat abgeschieden werden. LLS EVO Sputterwerkzeug kann Filme mit extrem hoher Qualität und hoher Gleichmäßigkeit liefern. Es ermöglicht auch die Abscheidung von Folien mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten, abhängig vom Zielmaterial und der Art der aufzubringenden Beschichtung. Das Asset ist so konzipiert, dass die Ablagerungsrate den Anforderungen spezifischer Anwendungen angepasst werden kann. BALZERS LLS EVO bietet Anwendern auch die Möglichkeit, dünne Folien mit hoher Präzision zu fertigen. Beispielsweise ermöglicht das Atomschichtabscheideverfahren (ALD) eine hohe Abscheiderate und extrem gleichmäßige dünne Filme mit ausgezeichneter Folienqualität. Darüber hinaus ermöglicht die dem Modell zugeordnete optische und Tunnelmikroskopie eine genaue und präzise Überwachung von Oberflächen- und Grenzflächenstrukturen. Zusammenfassend ist LLS EVO Sputtergeräte ein leistungsstarkes Werkzeug für Dünnschichtforschung und -entwicklung. Es wurde entwickelt, um den Anwendern ein breites Spektrum an vielseitigen Sputter- und Ätzprozessen anzubieten und sorgt für gleichmäßige und hochwertige Dünnschichten. Das System verfügt auch über fortschrittliche Software und ermöglicht es dem Benutzer, dünne Filme mit hoher Präzision herzustellen.
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