Gebraucht CANON / ANELVA 1060 #9135855 zu verkaufen

CANON/ANELVA 1060 Sputterausrüstung ist ein Hochleistungssystem entwickelt, um dicke, gleichmäßige Dünnschichten auf Proben für die Halbleiterverarbeitung zu schaffen. Diese Einheit verwendet Sputtern, ein physikalisches Aufdampfverfahren, um dünne Materialschichten auf die Oberfläche eines Werkstücks abzuscheiden. Die in CANON 1060 verwendeten Kathoden erzeugen Gasentladungen, die die Probenoberfläche mit thermischer Energie bombardieren, eine Oberfläche zerstäuben und den gewünschten Dünnfilm erzeugen. ANELVA 1060 ist ein einzelnes Magnetron-Sputterwerkzeug mit 4 kW Gleichstromversorgung. Es verfügt über zwei Keramikgehäuse, die die Prozesskammer und die Stützkammer beherbergen, und eine Top-Ladefähigkeit für einen einfachen Probenzugang. Die Verarbeitungskammer kann bei Temperaturen von bis zu 400C arbeiten und kann Drücke bis zu 1 Pa. erreichen. Die maximale Spannung beträgt 3500 V und der Frequenzbereich beträgt 5-250 kHz. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein variables HF-Zielnetzteil mit einer Reichweite von 100-1000 Watt und einem 6-stufigen Netzteil. 1060 hat eine Vielzahl von Funktionen, die es zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug machen. Es enthält einen automatisierten Zieldrehmotor und kann einfach konfiguriert werden, um mehrere Magnete zum Zerstäuben mehrerer Ziele zu betreiben. Das Werkzeug ist mit einem eingebauten Gaskasten ausgestattet, um kontrollierte Atmosphären für PVD-Prozesse zur Verfügung zu stellen, sowie eine Partikelüberwachung zur Erkennung und Verfolgung von Teilchen, die die Abscheidekammer verunreinigen, ein elektrostatisches Spannfutter (ESC) zur Aufnahme von Proben während der Verarbeitung. CANON/ANELVA 1060 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie einen automatischen Abschaltschalter für die Gleichstromversorgung, einen Not-Aus-Knopf, einen Stromsensor-Sicherheitsabschaltkreis und ein eingebautes Notgasabschaltventil. Diese Sicherheitsmaßnahmen tragen dazu bei, Benutzer vor möglichen Schäden zu schützen und sicherzustellen, dass das Modell ordnungsgemäß funktioniert. Insgesamt ist CANON 1060 eine leistungsfähige und zuverlässige Sputterausrüstung, die eine vielseitige und effiziente Möglichkeit bietet, dünne Materialschichten auf Substraten für die Halbleiterverarbeitung zu erzeugen. Es verfügt über viele Funktionen, die eine präzise Dünnschichtabscheidung und -leistung ermöglichen, und die eingebauten Sicherheitsmaßnahmen machen es sicher und einfach zu bedienen.