Gebraucht CANON / ANELVA C-7730FH #9167769 zu verkaufen

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CANON / ANELVA C-7730FH
Verkauft
ID: 9167769
Wafergröße: 5"
Sputtering system, 5".
CANON/ANELVA C-7730FH ist ein Sputtersystem, das entwickelt wurde, um dicke Filme aus verschiedenen Materialien auf Substraten zu beschichten. Es verwendet eine Hochvakuumkammer und Magnetronsputtern für die Abscheidung. CANON C-7730FH ist in hohem Grade anpassbar je nach Anwendung und Abscheidungsmaterial. Es verfügt über ein programmierbares Koaxialsystem (PCS), das verschiedene Arten von Magnetronwinkeln ermöglicht. Es ist auch mit mehreren Abscheidungsquellen ausgestattet, einschließlich einer thermischen Verdampfungsquelle, um eine mehrschichtige Abscheidung zu ermöglichen. ANELVA C-7730FH verwendet eine fortgeschrittene Turbo Molecular Pump (TMP), um Vakuum in der Kammer zu erzeugen, so dass der Sputterprozess stattfinden kann. Der TMP ist in der Lage, einen Bereich von Drücken von 2 x 10-3 Pa bis 5 x 10-5 Pa zu erreichen. Dieser Druckbereich ermöglicht verschiedene Arten von Abscheideprozessen, die sonst nicht durchgeführt werden könnten. C-7730FH ist in der Lage, einen Bereich der Foliendicke zwischen 1 nm und 200 nm zu schaffen. Dies kann durch Sputterprozesse bei unterschiedlichen Leistungseinstellungen erreicht werden. Das PCS ermöglicht eine genaue Steuerung beim Sputtern, da das Magnetron in unterschiedlichen Winkeln und Positionen innerhalb der Kammer eingestellt werden kann. CANON/ANELVA C-7730FH umfasst ein hohes Maß an Analysefähigkeit, die für fortschrittliche Sputterbeschichtungsprozesse erforderlich ist. Es ist mit einem Spektrometer ausgestattet, das die Zusammensetzung der Filme messen kann. Es ist auch mit einem Quarz Crystal Microbalancer ausgestattet, der Dicke und Homogenität der abgeschiedenen Folie messen kann. Diese Informationen können zur Feinabstimmung des Sputterprozesses verwendet werden, um genau die benötigte Foliendicke und Zusammensetzung zu erzeugen. CANON C-7730FH kann aufgrund seiner hohen anpassbaren Eigenschaften für eine Vielzahl von Anwendungen in hohem Maße abgestimmt werden. Es ist in der Lage, dicke Filme aus verschiedenen Materialzusammensetzungen für Anwendungen wie Halbleiterbauelemente, optische und mechanische Bauelemente und andere elektronikbezogene Bauelemente abzuscheiden.
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