Gebraucht CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9273917 zu verkaufen

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 ist ein Sputtergerät, das dünne Filme auf Substraten abscheiden kann. Es wird typischerweise zur Abscheidung von harten, leitenden und dielektrischen Folien für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet. CANON I-1060SVII PLUS-1 hat einen hohen Durchsatz und ist hocheffizient. Es bietet eine hohe Präzision, hohe Genauigkeit und überlegene mechanische Eigenschaften mit einer Vielzahl von Materialien und ist in der Lage, sehr dünne Schichten von Beschichtungen mit enger Kontrolle der Foliendicke aufzubringen. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1 verfügt über eine primäre Magnetronsputterquelle mit einer maximalen Sputterrate von bis zu 100 nm/min in der Standard-Testumgebung. Sein vertikaler Arbeitsbereich bietet eine große Sputterabscheidungsfläche von bis zu 32 „x 18“. Die Sputterquelle wird mit einem 6 KW Netzteil betrieben, das eine gleichmäßige gezielte Ionenenergie liefert. Die Sputterquelle ist mit einem 15 "-Kathodendurchmesser-Target mit einer maximalen Sputterrate von 132 nm/min ausgestattet. Es hat auch einen programmierbaren rotierenden Substrathalter mit 135 ° C Fähigkeit. ANELVA I-1060SVII PLUS-1 verfügt über eine installierte Vakuumpumpe von Turbomolekular- und Schrupppumpen und ein digitales Vakuummessgerät, das eine schnelle Evakuierung der Kammer auf einen niedrigen Enddruck ermöglicht. Es verfügt über ein Auto Pressure Control (APC) -System, das die Substratheizzeit reduziert und die Gleichmäßigkeit von Substraten mit einem breiten Dickenbereich erhöht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Helium-Leckprüfmaschine, die eine direkte Messung von kleinen Leckagen aus der Sputterquelle ermöglicht. Darüber hinaus ist das Werkzeug auch mit einem X- und Y-Rasterbewegungsmittel ausgelegt. Dies wirkt sich auf die Substratbewegungen aus, die zu einer gleichmäßigen Sputterabscheidung auf dem gesamten Substrat sowie zu einer verringerten Oberflächenrauhigkeit bei erhöhter Haftung führen. Darüber hinaus hilft ein aktiver Plasmamonitor, die Sputterrate mit dem richtigen Grad an ionisiertem Gas für glatte und gleichmäßige Beschichtungen zu optimieren. CANON/ANELVA I-1060SVII PLUS-1 ist ein voll computergesteuertes Modell, das mit benutzerfreundlicher Software für einfache Bedienung verwendet werden kann. Es verfügt über eine Datenspeichereinstellung für eine schnelle Einrichtung und bietet Übersicht über die Prozesssteuerung und Datenprotokollierung. Die Ausrüstung wird häufig für eine Vielzahl von Anwendungen wie Hartbeschichtung auf Kunststoffen, Halbleiterabscheidung und Dünnschichtabscheidung für Dünnschichtsolarzellen, TFT- und LCD-Display und LED-Beleuchtung verwendet.