Gebraucht CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048 zu verkaufen

CANON I-1060SV2 + 1 ist eine automatisierte Sputterausrüstung zur Beschichtung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substratmaterialien. Dieses System ist mit einer Fünftaschen-Wafer-Ladekammer mit hoher Kapazität ausgestattet, die bis zu 10 "Wafer aufnehmen kann. Die Einheit verwendet eine mehrseitige Kathode, die unabhängig gesteuert werden kann und eine höhere Abscheidegleichmäßigkeit über die Substrate gewährleistet. Die Maschine verfügt über zwei Kathoden für Magnet- und E-Strahl-Sputtern. Die Kathodenquellen umfassen drei zur Durchführung von e-strahlspezifischen Sputtern und zwei weitere zur regelmäßigen Sputterung. Die Kammerwände sind aus Edelstahl gefertigt und sorgen für eine gleichmäßige und gleichmäßige Verteilung von reaktivitätsarmen Edelgasen, wie Argon, auf das Substrat zur Erhöhung der Schichtgleichförmigkeit. Dieses Werkzeug ist in der Lage, eine hohe Gleichmäßigkeit der Beschichtungen über das gesamte Substrat zu erreichen, indem mehrere rotierende Targets und unabhängige Kathoden verwendet werden, die gleichmäßige Filme über die Substratoberfläche liefern. Das Asset bietet auch Fernabscheidungssteuerung, um Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat zu ermöglichen. Das Verfahren kann durch den Einsatz stöchiometrischer Targets effektiv gesteuert und die Leistungseinstellung für jede Kathode individuell zur Steuerung der Abscheiderate eingestellt werden. ANELVA I-1060SV2 + 1 kann hohe Abscheidungsraten mit minimalen Verunreinigungen und überlegener Prozessgleichförmigkeit erreichen. Das Modell verfügt auch über temperaturgesteuerte Heizelemente und Temperatursonden, um eine gleichmäßige Filmabscheidung zu gewährleisten. Die Cassette Shuttle Transfer Ausrüstung ist auch entworfen, um Kammerboden Abscheidung zu reduzieren, indem Substrataustausch unter Vakuum, für erhöhte Beschichtung Gleichmäßigkeit. Abschließend ist das CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1 Sputtersystem für die Beschichtung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substratmaterialien mit höherer Gleichmäßigkeit konzipiert. Es verfügt über zwei unabhängig gesteuerte Kathoden und rotierende Targets sowie Fernabscheidungssteuerungen und temperaturgesteuerte Elemente, um eine gleichmäßige Abscheidung der Beschichtung zu gewährleisten. Diese Einheit bietet hohe Abscheidungsraten mit minimalen Verunreinigungen, alle bei gleichmäßiger Qualität der Beschichtungen.