Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1012 #9103093 zu verkaufen

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CANON / ANELVA ILC 1012
Verkauft
ID: 9103093
Wafergröße: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA ILC 1012 ist eine leistungsstarke, multifunktionale Sputterausrüstung, die sich ideal für den Einsatz in der Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen eignet. Es besteht aus einem bürstenlosen Hochleistungs-Sputtersystem mit HF-Kapazität gekoppelt mit einem Hochleistungs-, Dioden- und computergesteuerten Xenon-Ionen-Duschkopf. Die Einheit wurde entwickelt, um verbesserte Beschichtungen, höhere Geschwindigkeiten der Filmabscheidung und Gleichmäßigkeit über Substrate verschiedener Größen und Formen bereitzustellen. CANON ILC 1012 bietet eine anodenfreie Vakuumumgebung mit einem gleichmäßigen elektrischen Feld von bis zu 470V. Dadurch wird die höchste Qualität der Filmabscheidung auch auf nichtleitenden Substraten gewährleistet. Die Maschine enthält auch eine blasenfreie Kammer, um Kontaminationen zu minimieren und die Gleichmäßigkeit der Produkte zu gewährleisten. Zur weiteren Verbesserung der Folieneinheitlichkeit ermöglicht ein integriertes Merkmal die Integration eines invertierten Design-Verschlusses mit einer Kammerziel-Maske zur Optimierung der Abscheiderate der Substrat-Target-Oberfläche. Das Werkzeug kann bis zu 8 Targets inklusive Aluminium, Chrom und Tantal auf einmal kombinieren und ist somit für mehrstufige Anwendungen sehr vielseitig einsetzbar. Das Asset bietet außerdem eine einstellbare Leistung von 10 bis 550 Watt für jedes Ziel und ist somit ideal für verschiedene Abscheideprozesse geeignet. Darüber hinaus verfügt das Modell über ein automatisiertes Prozessmodell, das Abweichungen erkennen und beseitigen kann und eine überlegene Kontrolle über Filmdicke und Gleichmäßigkeit ermöglicht. ANELVA ILC 1012 enthält auch ein Steuerungssoftware-Paket für einfache Datenerfassung und Prozesssteuerung sowie eine intelligente Auto-Adjustust-Funktion kann den Sputter-Prozess dynamisch steuern, um eine konstante Dicke der abgeschiedenen Folie zu halten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine benutzerfreundliche Oberfläche und ist mit einem wassergekühlten HF-Generator sowie den notwendigen Sicherheitseinrichtungen und Dichtungen ausgestattet. Insgesamt bietet das Sputtersystem ILC 1012 eine hochwertige Beschichtung mit reduzierten Kosten und verbesserter Prozesssteuerung und ist damit eine gute Wahl für Anwendungen in der Halbleiter- und Dünnschichtgeräteindustrie.
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