Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9043718 zu verkaufen

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CANON / ANELVA ILC 1051
Verkauft
ID: 9043718
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die entwickelt wurde, um eine präzise Steuerung der Prozessparameter zu ermöglichen, so dass der Benutzer die vollständige Kontrolle über die Abscheideraten hat. Sputtern ist der Prozess der Verwendung einer Plasmaquelle, um Atome auf ein Substrat zu übertragen, was zu einer Dünnfilmschicht führt, die auf der Substratoberfläche abgeschieden wird. CANON ILC 1051 System verfügt über einen Hauptplatinencomputer für einfache Einrichtung und Wartung, hochspannungssteuerbare Gleichspannungsleistung und eine frequenzgesteuerte Turbomolekularpumpe. Darüber hinaus umfasst die Einheit einen unabhängigen Gasstromregler, Vakuummesser, eine drehbare Stufe, eine dichtbare Vakuumkammer und einen ferngesteuerten Probenhalter. Mit der drehbaren Stufe kann ein Bediener ein Sputterverfahren für bis zu vier Substrate verwenden und den Winkel für jeden Prozess unabhängig einstellen. Die Maschine verfügt über eine leistungsstarke HF-Stromversorgung, die die Parameter der Sputterabscheidung mit bis zu 64 programmierbaren Schritten steuert, so dass der Benutzer den Vorsputterprozess, die Abscheidezeit und die Nachsputterzeit angeben kann. Darüber hinaus ermöglicht die Gleichstromversorgung präzise und reproduzierbare Sputterraten, die es dem Benutzer ermöglichen, die Abscheidungsparameter genau zu steuern. ANELVA ILC-1051 verfügt über ein integriertes Firmenmonitoring-Tool mit eigener Software zur Überwachung der Sputterprozesse, zur Sicherstellung des effizienten Betriebs des Sputter-Assets sowie zur Verfolgung und Archivierung von Ablagerungsrezepten. ILC 1051 bietet einen signifikanten Durchsatz für seinen Anwender, wodurch ein schnellerer Prozess gewährleistet wird, indem i) eine gleichmäßige Verteilung der abgeschiedenen Folien aufrechterhalten wird, ii) die Wiedergewinnungszeit minimiert wird und iii) die Prozesszyklen verfeinert werden. Darüber hinaus ist ANELVA ILC 1051 mit einem automatischen Waferausrichtungsmodell ausgestattet, das die Präzision und Genauigkeit erhöht und die Arbeitsbelastung für den Bediener reduziert. Insgesamt sorgt CANON ILC-1051 Sputtergeräte für präzises, kontrolliertes und reproduzierbares Sputtern, wodurch ein Bediener Proben mit dünnen Metallfilmen, Dielektrika und anderen Materialien präzise herstellen kann.
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