Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9272190 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC 1051 ist eine Sputteranlage zum Aufbringen ultradünner Filme auf ein Substrat. Beim Sputtern wird ein Target in eine Vakuumkammer gelegt und mit Ionen beschossen, wodurch Atome auf der Oberfläche des Targets freigesetzt und auf das Substrat abgeschieden werden. CANON ILC 1051 verwendet eine magnetroninduktiv gekoppelte Plasmaquelle (MICP), um ein Argon- oder Seltenheitsgas-Heliumplasma in seiner Kammer zu erzeugen. Das von der Plasmaquelle erzeugte Magnetfeld erhöht die Richtungsdichte des Ionenstrahls und ermöglicht eine verbesserte Abdeckung und Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung. ANELVA ILC-1051 bietet verschiedene Funktionen zur Optimierung der Ablagerung. Es verfügt über ein Vakuumbeobachtungsfenster, das Diagnosezwecke ermöglicht und verwendet werden kann, um eine ordnungsgemäße Substratpositionierung und Maskierung zu gewährleisten. Der Basisdruck des Systems beträgt etwa 1x10-4 Pa und die Abscheidung kann bis zu 1x10-3 Pa mit einer Substrat-Vorspannung bis zu -2,500V erreichen. Die Temperatur kann von Raumtemperatur auf 300 Grad Celsius gesteuert werden. Das Gerät verfügt über eingebaute Verriegelungen, um die Sicherheit und die Fähigkeit zu gewährleisten, Motoren in der Maschine zu überwachen, die die Sputterpistole und das Substrat bewegen. Das Werkzeug wird mit einer Kathodenumlenkung geliefert, die eine Gas- und/oder Dosissteuerung ermöglicht. Eine HF-Generatoroption ist verfügbar, um höhere Ionendichten bereitzustellen und den Betrieb bei höheren Abscheideraten zu ermöglichen. Eine Turbopumpe mit hoher Kapazität und ein Maxigauge-Manometer sorgen für die notwendige Unterstützung, um die Vakuumkammer zu warten und zu überwachen. Darüber hinaus kann der Fensteranschluss zur Installation von in-situ optischen Messgeräten verwendet werden, um das Filmwachstum bei der Abscheidung zu überwachen. Die mit CANON/ANELVA abgeschiedenen Sputterfolien ILC-1051 eine gute Abdeckung, eine gleichmäßige Oberfläche und eine hervorragende Oberflächenrauhigkeit aufweisen. Die Folien neigen zu guter Haftung und Ebenheit. Die Anlage ist sehr zuverlässig und reproduzierbar und kann für die Ablage von mehrschichtigen Folien und für verschiedene Anwendungen wie Elektronik, MEMS und Optoelektronik verwendet werden. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von Softwareoptionen, die Fernzugriff auf das Gerät und andere nützliche Funktionen bieten.